[发明专利]一种立式陶瓷加热器有效
申请号: | 202011622347.1 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112822798B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 何军舫 | 申请(专利权)人: | 博宇(天津)半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H05B3/03 | 分类号: | H05B3/03;H05B3/02 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 郑久兴 |
地址: | 301802 天津市宝坻区中关村*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 立式 陶瓷 加热器 | ||
1.一种立式陶瓷加热器,其特征在于,包括:
加热器基体(10),为圆筒状,且具有侧面和一个底面;
加热区(11),位于所述加热器基体(10)的侧面;
多个电极组,位于所述加热器基体(10)的底面;其中,
每个电极组对应一个加热区(11),每个电极组包含正负两个电极(12),每个电极组的两个电极(12)相对设置,两个相对设置的所述电极(12)与所述加热器基体(10)底面的圆心连线夹角为150°-180°;
所述加热器基体(10)的底面具有通孔(16);
所述通孔(16)的轴向与所述加热器基体(10)的轴向重合,所述通孔(16)的直径为所述加热器基体(10)内径的10-75%;
所述加热区(11)具有电路,电路宽度为1-10mm时,相邻的电路宽度波动小于电路宽度的宽度值的5%;电路宽度为10-20mm时,相邻的电路宽度波动小于电路宽度的宽度值的3%;电路宽度为30-40mm时,相邻的电路宽度波动小于电路宽度的宽度值的1%;
所述电极(12)包括:导电层露出部(13);
安装孔(14),位于所述导电层露出部(13),所述安装孔(14)为阶梯孔;其中,
所述导电层露出部(13)的面积大于等于所述安装孔(14)面积;
相邻电路间隔距离与加热器的使用电压对应,加热器使用电压为0-30V,则相邻电路间隔距离为0.3-0.6mm;加热器使用电压为30-60V,则相邻电路间隔距离为0.7-1.0mm;加热器使用电压为60-90V,则相邻电路间隔距离为1.1-1.5mm;加热器使用电压为90V以上,则相邻电路间隔距离为1.6-3mm。
2.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,
多个所述电极(12)不重合设置。
3.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,
所述加热器基体(10)的侧面与所述加热器基体(10)的底面通过弧面连接。
4.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,
所述电路串联或并联;其中,
所述电路串联时,电极(12)与电路连接处(15)的宽度≥所述电路的宽度;
所述电路并联时,电极(12)与所述电路连接处(15)的宽度≥两倍的所述电路的宽度。
5.根据权利要求4所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,
所述电路等宽设置。
6.根据权利要求4或5所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,
相邻所述电路的间隔为0.3-3mm。
7.根据权利要求1或4所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,还包括:
多个所述加热区(11),沿所述加热器基体(10)的轴向间隔分布在所述加热器基体(10)的侧面;
相邻的两个所述加热区(11)间隔为3-30mm。
8.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,
所述加热器基体(10)的高度为10-800mm;
所述加热器基体(10)的内径为10-300mm。
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