[发明专利]一种立式陶瓷加热器有效

专利信息
申请号: 202011622347.1 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112822798B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 何军舫 申请(专利权)人: 博宇(天津)半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司
主分类号: H05B3/03 分类号: H05B3/03;H05B3/02
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 郑久兴
地址: 301802 天津市宝坻区中关村*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 立式 陶瓷 加热器
【权利要求书】:

1.一种立式陶瓷加热器,其特征在于,包括:

加热器基体(10),为圆筒状,且具有侧面和一个底面;

加热区(11),位于所述加热器基体(10)的侧面;

多个电极组,位于所述加热器基体(10)的底面;其中,

每个电极组对应一个加热区(11),每个电极组包含正负两个电极(12),每个电极组的两个电极(12)相对设置,两个相对设置的所述电极(12)与所述加热器基体(10)底面的圆心连线夹角为150°-180°;

所述加热器基体(10)的底面具有通孔(16);

所述通孔(16)的轴向与所述加热器基体(10)的轴向重合,所述通孔(16)的直径为所述加热器基体(10)内径的10-75%;

所述加热区(11)具有电路,电路宽度为1-10mm时,相邻的电路宽度波动小于电路宽度的宽度值的5%;电路宽度为10-20mm时,相邻的电路宽度波动小于电路宽度的宽度值的3%;电路宽度为30-40mm时,相邻的电路宽度波动小于电路宽度的宽度值的1%;

所述电极(12)包括:导电层露出部(13);

安装孔(14),位于所述导电层露出部(13),所述安装孔(14)为阶梯孔;其中,

所述导电层露出部(13)的面积大于等于所述安装孔(14)面积;

相邻电路间隔距离与加热器的使用电压对应,加热器使用电压为0-30V,则相邻电路间隔距离为0.3-0.6mm;加热器使用电压为30-60V,则相邻电路间隔距离为0.7-1.0mm;加热器使用电压为60-90V,则相邻电路间隔距离为1.1-1.5mm;加热器使用电压为90V以上,则相邻电路间隔距离为1.6-3mm。

2.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,

多个所述电极(12)不重合设置。

3.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,

所述加热器基体(10)的侧面与所述加热器基体(10)的底面通过弧面连接。

4.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,

所述电路串联或并联;其中,

所述电路串联时,电极(12)与电路连接处(15)的宽度≥所述电路的宽度;

所述电路并联时,电极(12)与所述电路连接处(15)的宽度≥两倍的所述电路的宽度。

5.根据权利要求4所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,

所述电路等宽设置。

6.根据权利要求4或5所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,

相邻所述电路的间隔为0.3-3mm。

7.根据权利要求1或4所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,还包括:

多个所述加热区(11),沿所述加热器基体(10)的轴向间隔分布在所述加热器基体(10)的侧面;

相邻的两个所述加热区(11)间隔为3-30mm。

8.根据权利要求1所述的立式陶瓷加热器,其特征在于,

所述加热器基体(10)的高度为10-800mm;

所述加热器基体(10)的内径为10-300mm。

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