[发明专利]一种立式陶瓷加热器

说明书

本发明公开了一种立式陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，具有侧面和一个底面；加热区，位于加热器基体侧面；电极，位于加热器基体底面；电极两两相对设置，两个相对设置的电极与加热器基体底面的圆心连线夹角为150°‑180°；加热器基体的底面具有通孔；通孔的轴向与加热器基体的轴向重合。将电极设置在筒型加热器的底面，底面设置电极更牢固，连接件与电极的贴合更为紧密无间隙，解决了使用过程中的打火问题，提高了加热器使用安全性，延长了使用寿命；电极的位置分布方式使电源线对加热器施加的拉力达到平衡或近似平衡态，以保证加热器的轴向位于竖直方向，不会倾斜，使加热器对被加热物的距离保持不变，保证了加热器的加热均匀性。

技术领域

本发明涉及蒸镀用陶瓷加热器技术领域，特别涉及一种立式陶瓷加热器。

背景技术

目前不同行业对于加热器有特殊的要求，比如在制作太阳能薄膜电池和OLED柔性面板这种真空蒸镀工艺中，因为是在高真空环境下生产制作，所以对于加热器的要求更是极为严苛，例如，为了确保蒸镀材料的均匀扩散以及避免局部温度过高影响装料容器的使用寿命，要求加热器本身均温性好；为了保证加热器的使用安全，避免因为连电短路导致的生产事故。

现有的立式陶瓷加热器电极连接后容易存在间隙，使用时易出现打火损坏情况。此外，现有加热器在安装时候后，会出现加热不均匀的情况，即被加热材料局部温度过高，使得蒸镀材料挥发速率不一致，从而影响各位置成膜速率，导致各位置膜厚分布不均匀，降低了成膜的良率。因此，需要研发一种新型的立式陶瓷加热器。

发明内容

(一)发明目的

本发明的目的是提供一种在安装使用后能够保证加热均匀性的立式陶瓷加热器。

(二)技术方案

为解决上述问题，本发明实施例提供了一种立式陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区，位于所述加热器基体的侧面；电极，位于所述加热器基体的底面；其中，所述电极两两相对设置，两个相对设置的所述电极与所述加热器基体底面的圆心连线夹角为150°-180°；所述加热器基体的底面具有通孔；所述通孔的轴向与所述加热器基体的轴向重合。

进一步地，所述电极包括：导电层露出部；安装孔，位于所述导电层露出部；其中，所述导电层露出部的面积大于等于所述安装孔面积。

进一步地，多个所述电极不重合设置。

进一步地，所述加热器基体的侧面与所述加热器基体的底面通过弧面连接。

进一步地，所述加热区具有电路，所述电路串联或并联；其中，所述电路串联时，电极与电路连接处的宽度≥所述电路的宽度；所述电路并联时，电极与所述电路连接处的宽度≥两倍的所述电路的宽度。

进一步地，所述电路等宽设置。

进一步地，相邻所述电路的间隔为0.3-3mm。

进一步地，还包括：多个所述加热区，沿所述加热器基体的轴向间隔分布在所述加热器基体的侧面；相邻的两个所述加热区间隔为3-30mm。

进一步地，所述通孔的直径为所述加热器基体内径的10-75％。

进一步地，所述加热器基体高度为10-800mm；所述加热器基体内径为10-300mm。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

将电极设置在筒型加热器的底面，底面设置电极更牢固，连接件与电极的贴合更为紧密无间隙，解决了使用过程中的打火问题，提高了加热器使用安全性，延长了使用寿命。电极的位置分布方式使电源线对加热器施加的拉力达到平衡或近似平衡态，以保证加热器的轴向位于竖直方向，不会倾斜，使加热器对被加热物的距离保持不变，保证了加热器的加热均匀性。