[发明专利]一种光刻机主动辊式压板机构

权利要求书

1.一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板(1)以及设置于所述支撑翼板(1)下方的胶辊组件；

所述胶辊组件包括转轴(9)以及套接于所述转轴(9)上的胶辊(8)，所述转轴(9)两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板(1)下端连接，所述直线运动装置包括固定连接在所述支撑翼板(1)下端的气缸(2)，所述气缸(2)平行设有两个，两个所述气缸(2)的活塞下端分别与所述转轴(9)的两端连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述压板部设有两组，且两组所述压板部平行布置。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述气缸(2)的活塞下端固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)下端固定连接有两个平行布置的轴架(5)，所述转轴(9)固定连接与两个所述轴架(5)之间。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述转轴(9)两端均通过限位器(7)与所述轴架(5)连接，所述限位器(7)通过止动螺丝(4)与所述轴架(5)固定连接，所述胶辊(8)卡接于两端的限位器(7)之间。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述胶辊(8)包括辊筒(802)以及包裹于所述辊筒(802)外部的辊胶层(801)，所述辊筒(802)通过轴承(6)与所述转轴(9)滚动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述辊筒(802)为金属材质，所述辊胶层(801)为硅胶或橡胶材质。

7.根据权利要求2所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述支撑翼板(1)上设有加强筋板，所述加强筋板位于所述气缸(2)上方。

8.根据权利要求1所述的一种光刻机主动辊式压板机构，其特征在于，所述支撑翼板(1)上开设有多个减重孔。