[发明专利]一种光刻机主动辊式压板机构

说明书

本发明公开了一种光刻机主动辊式压板机构，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板以及设置于所述支撑翼板下方的胶辊组件；所述胶辊组件包括转轴以及套接于所述转轴上的胶辊，所述转轴两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板下端连接，本申请采用辊式压板机构，使用气缸作为动力，通过气缸的伸出，在曝光区域两侧压住PCB板，避免了边缘压板机构导致中间鼓起、曝光区域不平整的现象，同时长辊结构可靠，无悬臂梁式压板机构使用过程中悬臂梁形变风险，整个结构简单，容易实现，而且胶辊可绕自身的转轴旋转，无滑动摩擦，长辊外侧包有不粘油墨的硅胶或橡胶，无损坏PCB板风险。

技术领域

本发明涉及光刻机压板设备技术领域，具体是一种光刻机主动辊式压板机构。

背景技术

激光直写光刻是采用激光束对基片表面的抗蚀材料进行曝光，并在显影后在抗蚀剂表面得到所需要图案的技术，它的原理是由计算机控制高精度的激光束，在光刻胶上直接曝光出任意图案，优点是无需掩膜版，成本低，效率高，现在已经广泛的应用在PCB板的曝光工序中。

在半导体产品PCB激光直写光刻过程中，为了提高PCB板和平台的紧密贴合，一般除了在平台上对PCB板进行真空吸附外，还需要一种压板机构，在曝光过程中压住PCB板，减少和防止PCB板的翘曲对曝光的影响，在光刻机制版的过程中，由于光刻机光路焦深、吸盘放置、PCB板平整度的限制，很难实现PCB板在吸盘上完全平整放置，这给整个光刻过程带来了很大的工艺性挑战。

现有的压板设备只能在PCB板的边缘进行压板，不能在关键的曝光区域压板；在吸盘两边压板导致其余两边出现板翘，在三边和四边压板虽能避免边缘板翘，但实现的结构复杂，需要每个边的压板均能实现抬起、避让侧移、下压、行程位移等多个连贯动作，控制性要求高，可靠性低。此外PCB板一般靠右下角放置，而在上侧和右侧的压板一般采用悬臂梁结构，这种结构既复杂，又容易出现悬臂梁形变，导致压不住板的现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机主动辊式压板机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光刻机主动辊式压板机构，包括压板部，所述压板部包括支撑翼板以及设置于所述支撑翼板下方的胶辊组件；

所述胶辊组件包括转轴以及套接于所述转轴上的胶辊，所述转轴两端均通过直线运动装置与所述支撑翼板下端连接。

作为本发明进一步的方案：所述压板部设有两组，且两组所述压板部平行布置。

作为本发明进一步的方案：所述直线运动装置包括固定连接在所述支撑翼板下端的气缸，所述气缸平行设有两个，两个所述气缸的活塞下端分别与所述转轴的两端连接。

作为本发明进一步的方案：所述气缸的活塞下端固定连接有支撑板，所述支撑板下端固定连接有两个平行布置的轴架，所述转轴固定连接与两个所述轴架之间。

作为本发明进一步的方案：所述转轴两端均通过限位器与所述轴架连接，所述限位器通过止动螺丝与所述轴架固定连接，所述胶辊卡接于两端的限位器之间。

作为本发明进一步的方案：所述胶辊包括辊筒以及包裹于所述辊筒外部的辊胶层，所述辊筒通过轴承与所述转轴滚动连接。

作为本发明进一步的方案：所述辊筒为金属材质，所述辊胶层为硅胶或橡胶材质。

作为本发明进一步的方案：所述支撑翼板上设有加强筋板，所述加强筋板位于所述气缸上方。

作为本发明进一步的方案：所述支撑翼板上开设有多个减重孔。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：