[发明专利]一种带桨进炉装置及其生产工艺

权利要求书

1.一种带桨进炉装置,其特征在于：包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管。

2.根据权利要求1的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述传送机构包括滑板、固定板和滑轨，滑板固设有与滑轨配合连接的滑块，固定板与滑板固设连接，固定板连接有用于固定炉门的固定组件。

3.根据权利要求2的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述固定组件包括对称固设于固定板的连接杆，两组连接杆间固设有桨座，桨座下端面固设有两组平行设置的桨筒，桨筒的长度方向与传送机构的滑动方向一致。

4.根据权利要求1的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述桨由固定部以及支撑部构成，固定部贯穿炉门插入桨筒，桨筒与炉门密封连接，固定部对桨的整体以及桨上的承重进行支撑,桨的长度方向与传送机构的滑动方向一致。

5.根据权利要求4的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述支撑部用于支撑托件组件，托件组件由石英舟托和石英舟构成，石英舟托承载多组石英舟，石英舟托两侧的端板固设有支撑腔，支撑部伸入支撑腔内，支撑部的上端面与支撑腔上侧面相抵，限制托件组件在桨宽度方向的移动。

6.根据权利要求4的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述固定部的厚度大于支撑部的厚度，两者平滑连接，两组支撑部相对侧面的间距大于两组固定部相对侧面的间距，托件组件一端位于两者连接位置，支撑部的另一端设置有紧固板，通过宽度差以及紧固板限制托件组件在桨长度方向的移动。

7.根据权利要求1的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述传送机构与炉门固设连接，石英管固设于热炉内，传送机构的滑动方向与石英管轴向一致。

8.根据权利要求4的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述桨的固定部贯穿炉门与桨座固设连接，固定部与炉门密封连接。

9.一种带桨进炉的生产工艺，其特征在于：该生产工艺将权利要求1至8中任一项所述的桨和托件组件作为整体，传送机构驱动桨将托件组件上未加工硅片移动至石英管内进行加工，并将已加工硅片从石英管内移出。

10.根据权利要求9的一种带桨进炉的生产工艺，包括以下工序：

(1)取料，将硅片放置在托件组件上；

(2)置放，将装载硅片的托件组件放置在桨上；

(3)进炉，传送机构将作为整体的桨和托件组件以及托件组件装载的硅片输送至石英管内；

(4)工作，桨以及装载硅片的托件组件位于石英管内，炉门将石英管关闭，石英管内部形成密封空间，根据生产需求，对硅片进行加工处理；

(5)出炉，硅片加工后，将石英管内部恢复到常压，将炉门打开，传送机构将桨和装载硅片的托件组件从石英管移出；

(6)下料，将桨上的装载硅片的托件组件移走到下一工序。