[发明专利]一种带桨进炉装置及其生产工艺

说明书

本发明公开了一种带桨进炉装置及其生产工艺,包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管，本发明整个工艺过程中桨进出炉只需一次，节省工艺时间，本发明将桨和产品作为整体，桨把产品带进炉后，无需将产品放下，故无需设置桨上下移动的空间，节省热炉的上下空间，本发明将桨和产品作为整体，桨把产品带进炉后，无需将产品放下，故无需增加上下运动机构，将整个装置大大简化，节省大量电气控制与机构运动装置，降低成本。

技术领域

本发明属于光伏或半导体领域，涉及一种带桨进炉装置及其生产工艺。

背景技术

在光伏半导体行业的化学气相沉积、磷扩散、硼扩散以及氧化工艺过程中，把产品送入炉内，加工完成后，需将产品取出，由于硅片厚度只有0.16mm左右，是高精度的轻薄产品，进出炉的速度需非常缓慢，一般传送机构速度设在5-10mm/s，常规行程有3-4米，单行程需5-10分钟。

现有技术都是先由桨把产品送入炉内，放好后，再把桨退出来，等产品炉内加工完成后，再打开炉门，桨伸进去把产品取出来，对于桨来说至少是两进两出，约需20-40分钟，时间耗费长，降低了设备的产能，本发明有效地解决了这种问题。

发明内容

本发明为了克服现有技术的不足，提供一种带桨进炉装置及其生产工艺。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种带桨进炉装置，其特征在于：包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管。

进一步的；所述传送机构包括滑板、固定板和滑轨，滑板固设有与滑轨配合连接的滑块，固定板与滑板固设连接，固定板连接有用于固定炉门的固定组件。

进一步的；所述固定组件包括对称固设于固定板的连接杆，两组连接杆间固设有桨座，桨座下端面固设有两组平行设置的固杆，固杆的长度方向与传送机构的滑动方向一致。

进一步的；所述桨由固定部以及支撑部构成，固杆与固定部固设连接，固定部对桨的整体以及桨上的承重进行支撑,桨的长度方向与传送机构的滑动方向一致。

进一步的；所述支撑部用于支撑托件组件，托件组件由石英舟托和石英舟构成，石英舟托承载多组石英舟，石英舟托两侧的端板固设有支撑腔，支撑部伸入支撑腔内，支撑部的上端面与支撑腔上侧面相抵，限制托件组件在桨宽度方向的移动。

进一步的；所述固定部的厚度大于支撑部的厚度，两者平滑连接，两组支撑部相对侧面的间距大于两组固定部相对侧面的间距，托件组件一端位于两者连接位置，支撑部的另一端设置有紧固板，通过宽度差以及紧固板限制托件组件在桨长度方向的移动。

进一步的；所述传送机构与炉门固设连接，石英管固设于热炉内，传送机构的滑动方向与石英管轴向一致。

一种带桨进炉的生产工艺,进一步的；该生产工艺将权利要求至中任一项所述的桨和托件组件作为整体，传送机构驱动桨将托件组件上未加工硅片移动至石英管内进行加工，并将已加工硅片从石英管内移出。

进一步的；包括以下工序：

(1)取料，将硅片放置在托件组件上；

(2)置放，将装载硅片的托件组件放置在桨上；

(3)进炉，传送机构将作为整体的桨和托件组件以及托件组件装载的硅片输送至石英管内；

(4)工作，桨以及装载硅片的托件组件位于石英管内，炉门将石英管关闭，石英管内部形成密封空间，根据生产需求，对硅片进行加工处理；