[发明专利]一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构

权利要求书

1.一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，包括外槽体(1)和内槽体(2)，所述内槽体(2)设置在所述外槽体(1)内，所述内槽体(2)用以放置晶圆干燥模组，其特征在于：所述外槽体(1)内还设置有集液槽体(3)，所述外槽体(1)上设置有导流部(4)，所述导流部(4)用以将液体导向所述集液槽体(3)内，所述集液槽体(3)内包括防溅区(5)和集流区(6)，所述防溅区(5)内设置有防溅组件，所述防溅组件包括第一防溅板(7)、第二防溅板(8)和第三防溅板(9)，所述第一防溅板(7)与所述第二防溅板(8)固定连接，所述第一防溅板(7)位于所述第二防溅板(8)上方，且所述第一防溅板(7)与第二防溅板(8)之间形成有第一夹角(10)，所述外槽体(1)上设置有传动组件，所述传动组件包括第一动力部和第二动力部，所述第一动力部用以带动所述第一防溅板(7)和第二防溅板(8)向第一方向转动，所述第二动力部用以带动第三防溅板(9)向第二方向转动，且所述第一方向与所述第二方向相反，液体经过所述导流部(4)进入所述第一夹角(10)范围内，随后经过所述第一防溅板(7)和所述第二防溅板(8)的导向流至所述第三防溅板(9)上，所述第三防溅板(9)顶面用以将液体导向所述集液槽体(3)内，所述集液槽体(3)底壁面上开设有出水孔(17)，所述出水孔(17)上固定连接有排液部(18)，所述排液部(18)用以将所述出水孔(17)处的液体排出所述外槽体(1)，所述集流区(6)内设置有集流部，所述集流部用以将所述集液槽体(3)内的液体导向所述出水孔(17)。

2.根据权利要求1所述的一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其特征在于：所述导流部(4)由横板(41)与斜板(42)组成，所述斜板(42)与所述横板(41)一端固定连接，所述斜板(42)包括第一引流面(43)和第二引流面(44)，所述第一引流面(43)与所述横板(41)顶面相互连接，所述第二引流面(44)与所述第一引流面(43)相互连接，且所述第二引流面(44)垂直于所述横板(41)顶面。

3.根据权利要求2所述的一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其特征在于：所述第一引流面(43)与所述横板(41)顶面之间一体形成有第一过渡部(45)，所述第一过渡部(45)用以将液体从所述横板(41)导向所述第一引流面(43)，所述第一引流面(43)与所述第二引流面(44)之间一体形成有第二过渡部(46)，所述第二过渡部(46)用以将液体从所述第一引流面(43)导向第二引流面(44)。

4.根据权利要求1所述的一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其特征在于：所述集流部包括第一导流块(19)和第二导流块(20)，所述第一导流块(19)倾斜设置在所述集液槽体(3)靠近所述外槽体(1)的内侧壁上，所述第二导流块(20)倾斜设置在所述集液槽体(3)靠近所述内槽体(2)的内侧壁上，所述第一导流块(19)顶部与所述第二导流块(20)顶部之间的距离大于所述第一导流块(19)底部与所述第二导流块(20)底部之间的距离。

5.根据权利要求4所述的一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其特征在于：所述第一导流块(19)与所述第二导流块(20)上分别开设有导流槽(21)，所述导流槽(21)包括进液口(211)和出液口(212)，所述进液口(211)位于所述出液口(212)上方，且所述进液口(211)处槽宽大于所述出液口(212)槽宽。

6.根据权利要求5所述的一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其特征在于：所述第一导流块(19)上的导流槽(21)与所述集液槽体(3)底壁面之间一体形成有第三过渡部(22)，所述第二导流块(20)上的导流槽(21)与所述集液槽体(3)底壁面之间一体形成有第四过渡部(23)，所述第三过渡部(22)用以将所述第一导流块(19)上导流槽(21)内的液体导向所述集液槽体(3)底壁面，所述第四过渡部(23)用以将所述第二导流块(20)上导流槽(21)内的液体导向所述集液槽体(3)底壁面。