[发明专利]一种电解蚀刻生产线

权利要求书

1.一种电解蚀刻生产线，其特征在于，包括机架，所述机架上具有上料区(1)、显影区、电解区及下料区(15)；设在所述显影区内的至少一个显影槽(2)及设在所述电解区内的至少一个电解槽(6)，相邻的所述显影槽(2)和电解槽(6)密封连通，及分别设在所述显影槽(2)和电解槽(6)内的一个喷淋机构，所述喷淋机构用于向各自所对应的槽内喷淋溶液，以使各个槽内的溶液处于流动状态；

设在所述机架上且横跨所述上料区(1)、显影区、电解区及下料区(15)的第一输送机构；

所述第一输送机构悬空在所述显影槽(2)和所述电解槽(6)的上方，且用于驱动待蚀刻的阳极板沿竖向经上料区(1)、至少依次穿过所述显影槽(2)和电解槽(6)及下料区(15)。

2.根据权利要求1所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，所述电解槽(6)和/或显影槽(2)包括位于第一槽体(17)下方的至少一个第二槽体(18)；

所述喷淋机构包括设在所述第一槽体(17)内的至少一组喷淋管(16)，和将所述第二槽体(18)的内腔与所述喷淋管(16)连接的第一输送管路(19)，及设在所述第一输送管路(19)上的泵体(22)。

3.根据权利要求2所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，还包括设在所述第一槽体(17)与所述喷淋管(16)之间的第二输送管路(20)，及设在所述第二输送管路(20)上的过滤器(21)。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，还包括设于所述显影槽(2)和所述电解槽(6)之间的至少一个过渡槽(4)，所述过渡槽(4)的进口端和出口端分别与所述显影槽(2)和电解槽(6)密封连通，以供阳极板随第一输送机构穿过。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，所述电解蚀刻生产线还包括至少一个微蚀刻槽(8)，所述微蚀刻槽(8)和所述显影槽(2)位于所述电解槽(6)的两侧，所述微蚀刻槽(8)的进口端与所述电解槽(6)的出口密封连通。

6.根据权利要求5所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，所述电解蚀刻生产线还包括设在所述显影槽(2)与所述电解槽(6)之间的至少一个第一后处理槽(3)，其中一个所述第一后处理槽(3)用于容纳清洁液；所述第一后处理槽(3)的进口端和出口端分别与所述显影槽(2)的出口端和所述电解槽(6)的进口端密封连通；和/或

所述电解蚀刻生产线还包括位于所述电解槽(6)与所述微蚀刻槽(8)之间的至少一个第二后处理槽(7)；其中一个所述第二后处理槽(7)用于容纳清洁液。

7.根据权利要求6所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，还包括至少一个去膜槽(11)，所述去膜槽(11)的进口端与所述微蚀刻槽(8)的出口端密封连通。

8.根据权利要求7所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，还包括至少一个高压冲洗槽，所述高压冲洗槽的进口端密封连通于所述去膜槽(11)的出口端；及干膜剥离装置；

所述干膜剥离装置包括：第三槽体(23)、滤筒(24)和第二输送机构，其中滤筒(24)水平可转动地设在所述第三槽体(23)内；所述滤筒(24)的轴向的端部上设有至少一个第一开口(25)及所述滤筒(24)的周向壁面上设有若干个滤孔；所述第二输送机构包括沿所述滤筒(24)的轴向方向设置的输送带(27)，所述输送带(27)的一端经所述第一开口(25)伸入所述滤筒(24)内，另一端伸出所述滤筒(24)和所述第三槽体(23)外；所述输送带(27)的顶部表面作为承载面；所述承载面适于承载来自于其上方的所述滤筒(24)的内壁面上掉落的干膜渣。

9.根据权利要求8所述的电解蚀刻生产线，其特征在于，所述干膜剥离装置还包括至少一个吹落件(28)，至少一所述吹落件(28)设在第三槽体(23)或机架上且位于所述滤筒(24)的顶部外，所述吹落件(28)的出风口朝向所述输送带(27)的承载面的一侧，所述吹落件(28)经所述出风口吹风而施加朝向所述承载面方向的正压力。