[发明专利]一种222nm准分子灯管及其制作方法

权利要求书

1.一种222nm准分子灯管，其特征在于，包括：

灯管壳体(1)，为单管结构，内部具有密闭的容纳腔(6)；所述灯管壳体(1)具有相互平行的第一管壁(3)和第二管壁(4)，且所述第一管壁(3)以及所述第二管壁(4)均为平面结构；

电极(2)，具有两个，分设于所述第一管壁(3)与所述第二管壁(4)的外壁上。

2.根据权利要求1所述的222nm准分子灯管，其特征在于，所述灯管壳体(1)还包括：

第三管壁(5)，具有两个，一体成型于所述第一管壁(3)与所述第二管壁(4)之间，所述第三管壁(5)为背离所述容纳腔(6)向外拱起的弧形；

充排气口(11)，设于所述第三管壁(5)上，连通外界与所述容纳腔(6)。

3.根据权利要求2所述的222nm准分子灯管，其特征在于，所述灯管壳体(1)由石英圆管(10)挤压而成。

4.一种222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

石英圆管(10)加热软化后，经滚轮组件(7)挤压，形成上下平行的第一管壁(3)和第二管壁(4)；

对挤压后的石英圆管(10)进行截断，形成待压封灯管，并对待压封灯管进行去羟基处理；

去羟基完成后，对待压封灯管的两端进行压封，使其内部形成密闭的容纳腔(6)；

在已压封灯管的侧壁接通充排气管，使所述充排气管与所述容纳腔(6)连通；

经所述充排气管，向已压封灯管的容纳腔(6)内充入放电气体；当充入的放电气体达到设计压力值后，对所述充排气管的靠近所述已压封灯管的一端进行密封；

待所述放电气体充好，在所述第一管壁(3)与所述第二管壁(4)的外壁上铺设电极(2)。

5.根据权利要求4所述的222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，所述滚轮组件(7)包括间隔设置的三组，每组所述滚轮组件(7)具有上下正对的两个滚轮；所述石英圆管(10)依次经过三组所述滚轮组件(7)进行挤压，在挤压过程中持续向所述石英圆管(10)内通入保护气体。

6.根据权利要求5所述的222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，所述石英圆管(10)内保护气体的压强大于一个标准大气压。

7.根据权利要求5所述的222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，相邻两组所述滚轮组件(7)之间设有第二加热装置(9)，通过所述第二加热装置(9)对所述石英圆管(10)进行持续加热。

8.根据权利要求4所述的222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，所述待压封灯管的两端进行先后压封；在对先压封端进行压封的同时，通过后压封端通入保护气体。

9.根据权利要求4所述的222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，所述充排气管与所述已压封灯管的侧壁通过点熔的方式熔接连通。

10.根据权利要求4所述的222nm准分子灯管的制作方法，其特征在于，所述放电气体充入前，通过所述充排气管对所述已压封灯管的容纳腔(6)进行抽真空处理。