[发明专利]一种抛光载具的修整方法

权利要求书

1.一种抛光载具的修整方法，其特征在于，所述修整方法包括以下步骤：

S1：根据所述抛光载具的待修整面的现有形貌和修整完成后需要得到的目标形貌选取调整垫片；

S2：将所述调整垫片放置于所述抛光载具的与待修整面相对设置的另一面上；

S3：抛光装置对所述抛光载具的待修整面进行抛光操作，通过磨削待修整面以进行修整；所述调整垫片能够改变待修整面在沿远离其旋转中心的方向上的不同位置处的磨削量；

步骤S1中待修整面的目标形貌通过以下步骤获取：

S100：选取某一抛光载具，所述抛光载具与待抛光件接触的面具有初始形貌，将待抛光件放入所述抛光装置中，对待抛光件进行抛光，待抛光完成后，检测并记录待抛光件的表面平整度X；

S200：步骤S100重复N-1次，获得N个具有不同初始形貌的所述抛光载具对应的待抛光件的表面平整度X1、X2、X3……XN；

S300：选取X1、X2、X3……XN中的最小值Xmin，将其对应的所述抛光载具的初始形貌作为待修整面的目标形貌。

2.根据权利要求1所述的修整方法，其特征在于，所述调整垫片与待修整面同轴心设置。

3.根据权利要求2所述的修整方法，其特征在于，所述调整垫片为实心圆片结构，所述调整垫片使得待修整面的磨削量沿远离旋转中心的方向呈递减趋势。

4.根据权利要求2所述的修整方法，其特征在于，所述调整垫片为圆环结构，所述调整垫片使得待修整面的磨削量沿远离旋转中心的方向呈递增趋势。

5.根据权利要求4所述的修整方法，其特征在于，所述调整垫片的外径与待修整面的外径相同。

6.根据权利要求1所述的修整方法，其特征在于，步骤S3包括以下步骤：

所述抛光载具修整一定的时间后，检测待修整面的当前形貌与目标形貌是否一致；若一致，则修整完成；若不一致，则继续修整，直至待修整面的当前形貌与目标形貌一致。

7.根据权利要求1所述的修整方法，其特征在于，所述修整方法用于所述抛光装置第一次对待抛光件进行抛光操作之前；和/或

所述修整方法用于所述抛光装置对待抛光件进行抛光的过程中。

8.根据权利要求1所述的修整方法，其特征在于，所述抛光载具的待修整面的现有形貌为正盘型、负盘型或平面型；其中，正盘型为待修整面的旋转中心凸出且凸出高度沿着远离旋转中心的方向逐渐降低的形貌；负盘型为待修整面的旋转中心凹陷且凹陷深度沿着远离旋转中心的方向逐渐降低的形貌；平面型为待修整面为平面的形貌。

9.根据权利要求1所述的修整方法，其特征在于，所述抛光载具的待修整面的目标形貌为正盘型、负盘型或者平面型。