[发明专利]异物测试装置和异物测试方法

权利要求书

1.一种异物测试装置，其特征在于，包括：异物测试基板和异物测试模组，其中，所述异物测试基板，承载所述异物测试模组；所述异物测试模组，用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况；所述异物测试模组包括第一电极、第二电极和支撑层，所述第一电极位于所述异物测试基板上，所述第二电极位于所述第一电极远离所述异物测试基板一侧，且所述第一电极和所述第二电极之间具有间隙，所述第一电极和第二电极通过支撑层连接；所述支撑层为弹性可伸缩结构。

2.根据权利要求1所述的异物测试装置，其特征在于，所述第二电极的材料为弹性材料。

3.根据权利要求1-2任一项所述的异物测试装置，其特征在于，所述第一电极为平板状，所述支撑层围绕所述第一电极的边缘设置，还包括分割层，所述分割层设置于所述第一电极朝向所述第二电极的一侧，且位于所述支撑层朝向所述第一电极中心一侧。

4.根据权利要求3所述的异物测试装置，其特征在于，所述第一电极包括至少两个第一子电极，相邻所述第一子电极之间具有间隙，所述第一子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第二电极连接；和/或，

所述第二电极包括至少两个第二子电极，相邻所述第二子电极之间具有间隙，所述第二子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第一电极连接。

5.根据权利要求1-2任一项所述的异物测试装置，其特征在于，所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状，所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒，所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧。

6.根据权利要求1-2任一项所述的异物测试装置，其特征在于，还包括监测模组，所述监测模组分别与所述第一电极和所述第二电极电连接。

7.一种异物测试方法，其特征在于，

提供一异物测试装置，所述异物测试装置包括：异物测试基板和异物测试模组，所述异物测试基板承载所述异物测试模组；其中，所述异物测试模组包括第一电极、第二电极和支撑层，所述第一电极位于所述异物测试基板上，所述第二电极位于所述第一电极远离所述异物测试基板一侧，且所述第一电极和所述第二电极之间具有间隙，所述第一电极和第二电极通过支撑层连接；所述支撑层为弹性可伸缩结构；

将所述异物测试模组置于待检测样品表面，监测所述异物测试模组的电性变化，当所述电性变化超出预设范围，则判定所述待检测样品表面有异物，反之则无异物。

8.根据权利要求7所述的异物测试方法，其特征在于，所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状，所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒，所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧；

所述将所述异物测试模组置于待检测样品表面，监测所述异物测试模组的电性变化的步骤，包括，

将所述异物测试模组置于待检测样品表面，使所述异物测试模组沿着所述待检测样品表面滚动，监测所述异物测试模组的电性变化。