[发明专利]异物测试装置和异物测试方法有效

专利信息
申请号: 202011638619.7 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112858390B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 王晓伟 申请(专利权)人: 云谷(固安)科技有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00;G01N27/24
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 方晓燕
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 异物 测试 装置 方法
【说明书】:

发明实施例提供了一种异物测试装置,包括:异物测试基板和异物测试模组,异物测试模组,用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。当待检测样品表面存在异物时,会造成异物测试模组的电性变化。本发明的异物测试装置通过监测异物测试模组的电性变化情况,可以有效判断待检测样品表面的异物情况,尤其是在显示面板的制备过程中,可以有效检测承载显示面板的平台上是否存在异物,从而减少平台上异物对显示面板产品的影响,避免造成显示面板产品黑斑和点线不良等问题的出现,有效提升显示面板产品的良率。

技术领域

本发明涉及一种异物测试装置和异物测试方法,具体属于检测技术领域。

背景技术

有机发光二极管(英文:Organic Light Emitting Diode,简称:OLED)显示面板以其全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、响应速度快等诸多优点,逐渐成为目前显示领域极具前景的显示产品。现有显示面板的制造工艺中经常需要用到承载平台对产品进行承载,承载平台上的异物对产品特性会产生影响,因此,如何检测承载平台上的异物情况,成为急需解决的问题。

发明内容

有鉴于此,本发明实施例致力于提供一种异物测试装置和测试方法,能够有效对待检测样品表面的异物情况进行检测。

本发明实施例第一方面提供了一种异物测试装置,包括:异物测试基板和异物测试模组,其中,所述异物测试基板,承载所述异物测试模组;所述异物测试模组,用于通过电性变化来检测待检测样品表面的异物情况。

在第一方面的一个可替换的实施例中,所述异物测试模组包括第一电极、第二电极和支撑层,所述第一电极位于所述异物测试基板上,所述第二电极位于所述第一电极远离所述异物测试基板一侧,且所述第一电极和所述第二电极之间具有间隙,所述第一电极和第二电极通过支撑层连接。

在第一方面的一个可替换的实施例中,所述支撑层为弹性可伸缩结构。

在第一方面的一个可替换的实施例中,所述第二电极的材料为弹性材料。

在第一方面的一个可替换的实施例中,所述第一电极为平板状,所述支撑层围绕所述第一电极的边缘设置,还包括分割层,所述分割层设置于所述第一电极朝向所述第二电极的一侧,且位于所述支撑层朝向所述第一电极中心一侧。

在第一方面的一个可替换的实施例中,所述第一电极包括至少两个第一子电极,相邻所述第一子电极之间具有间隙,所述第一子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第二电极连接;和/或,

所述第二电极包括至少两个第二子电极,相邻所述第二子电极之间具有间隙,所述第二子电极通过所述分割层和/或所述支撑层与所述第一电极连接。

在第一方面的一个可替换的实施例中,所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状,所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒,所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧。

在第一方面的一个可替换的实施例中,还包括监测模组,所述监测模组分别与所述第一电极和所述第二电极电连接。

本发明实施例的第二方面提供了一种异物测试方法,包括:

提供一异物测试装置,所述异物测试装置包括:异物测试基板和异物测试模组,所述异物测试基板承载所述异物测试模组;

将所述异物测试模组置于待检测样品表面,监测所述异物测试模组的电性变化,当所述电性变化超出预设范围,则判定所述待检测样品表面有异物,反之则无异物。

在第二方面的一个可替换的实施例中,所述异物测试基板和所述异物测试模组为圆柱状,所述异物测试基板和所述异物测试模组构成套筒,所述异物测试模组位于所述异物测试基板的外侧;

所述将所述异物测试模组置于待检测样品表面,监测所述异物测试模组的电性变化的步骤,包括,

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