[发明专利]一种焊点镀膜的应变计制备方法及其制备模版有效

专利信息
申请号: 202011640015.6 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112629402B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 何志俊;刘长俊;潘成福 申请(专利权)人: 厦门市诺盛测控技术有限公司
主分类号: G01B7/16 分类号: G01B7/16;B23P15/00;C25D5/02
代理公司: 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 代理人: 徐东峰
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 应变 制备 方法 及其 模版
【权利要求书】:

1.一种焊点镀膜的应变计制备方法,其特征在于:包含以下步骤:

S0,制备应变计模版:所述应变计模版包含阵列布设的应变计光刻区,以及导电带光刻区,以及连接所述应变计光刻区和所述导电带光刻区的连接线光刻区;

S1,制备基底复合层:将涂覆有基底浆料的金属箔材加热,固化基底浆料,得到金属箔材与基底组成的基底复合层,所述基底复合层包含阵列布设的应变计区;

S2,制作应变计图形:通过光刻工艺对所述金属箔材光刻,在每个应变计区得到应变计图形,所述应变计图形包含敏感栅和焊点;具体为:

对所述基底复合层盖设所述应变计模版,通过光刻工艺和所述应变计模版的配合,在每个应变计区得到应变计图形;

S3,短接应变计图形:通过连接线短接所有所述应变计图形;S3具体为:

对所述基底复合层盖设所述应变计模版,通过光刻工艺和所述应变计模版的配合,得到分别短接每个应变计图形的连接线,以及连接所有所述连接线的导电带;

S4,焊点镀膜:隔离所述敏感栅,通过电镀工艺在所述焊点镀膜,得到焊点镀有膜的应变计图形;

S5,切断连接线:通过激光将所述连接线切除;

S6,设置敏感栅保护层:在所述应变计图形对应所述敏感栅的一面设置敏感栅保护层,得到应变计阵列;

S7,切割成型:通过激光将所述应变计阵列切割,得到单个应变计。

2.根据权利要求1所述的一种焊点镀膜的应变计制备方法,其特征在于:步骤S4中,所述通过电镀工艺在所述焊点镀膜具体为:

通过电镀引线向对所述导电带通电,从而对所有应变计图形通电,进而在所有焊点镀膜。

3.根据权利要求1-2任意一种所述的一种焊点镀膜的应变计制备方法,其特征在于:步骤S4中,所述镀膜为镀金或镀锡其中的一种。

4.根据权利要求3所述的一种焊点镀膜的应变计制备方法,其特征在于:所述镀锡的厚度为5-100微米,所述镀金的厚度为0.5-1微米。

5.根据权利要求1所述的一种焊点镀膜的应变计制备方法,其特征在于:步骤S5和步骤S6之间,进一步包含:

S5.1,阻值调整:将每个应变计图形的敏感栅的阻值调整到要求的范围。

6.根据权利要求1所述的一种焊点镀膜的应变计制备方法,其特征在于:

步骤S1中,所述复合层进一步包含若干应变计监控区;

步骤S2中,通过光刻工艺对所述金属箔材光刻后,进一步在若干所述应变计监控区得到监控应变计图形;

步骤S3中,所述连接线不短接所述监控应变计图形。

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