[发明专利]载片台平整度的调节方法及装置

权利要求书

1.一种载片台平整度的调节方法，所述载片台包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物，其特征在于，所述方法包括：

获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；

获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；

获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；

根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。

2.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取所述待承载物的异常区域的步骤包括：

获得所述待承载物的图像信息；

根据所述图像信息及预设参数获取所述图像信息的第一区域；

根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域。

3.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，所述第一区域为连续分布的多个特征像素所围成的区域，所述图像信息包括灰度值和/或清晰度值，所述预设参数为所述特征像素的灰度值小于或等于相邻像素的灰度值的30％；或者，所述预设参数为所述特征像素的清晰度值小于或等于相邻像素的清晰度值的30％。

4.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，根据所述第一区域获得所述待承载物的所述异常区域的步骤包括：

使所述异常区域的边缘与所述第一区域的边缘至少部分相对应；

或者，将包括与所述第一区域相对应的面积最小的圆形区域或面积最小的多边形区域作为所述异常区域。

5.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，获取与所述异常区域对应的异常支撑柱的步骤还包括：

将所述载片台的所述支撑柱位置信息记录在所述图像信息上。

6.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取与所述异常区域对应的异常支撑柱的步骤包括：

将与所述异常区域内部相对应的所述支撑柱作为所述异常支撑柱；

或者，将包围所述异常区域对应的所述支撑柱作为所述异常支撑柱。

7.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取所述异常支撑柱的调节模式的步骤包括：

获取所述异常区域内所述异常支撑柱调节的顺序，所述异常支撑柱调节的顺序与所述交叠面积的大小呈正相关；

和/或，

获取所述异常区域内各个所述异常支撑柱的调节幅度，所述异常支撑柱的调节幅度与所述交叠面积的大小呈正相关。

8.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，获取所述异常支撑柱的调节模式的步骤还包括：判断所述交叠面积与阈值交叠面积的大小关系。

9.如权利要求8所述的调节方法，其特征在于，所述阈值交叠面积为所述异常支撑柱作用区域的40％。

10.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，所述载片台的所述支撑柱呈矩阵式排布；获取所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域的步骤包括：

将以所述异常支撑柱为圆心及任一对角线上相邻两个所述支撑柱之间的距离的1/2为半径的圆形区域作为所述作用区域。

11.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，获得所述待承载物的图像信息的步骤包括：

获得所述待承载物的原始图像；

对所述原始图像进行清晰度处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。

12.如权利要求11所述的调节方法，其特征在于，获得所述原始图像的清晰度分布图的步骤包括：

对所述原始图像进行网格细分；

获得每个所述网格的平均清晰度值；

将每个所述网格的平均清晰度值进行转化处理，获得所述原始图像的清晰度分布图。

13.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，所述待承载物具有工艺区；

获取所述待承载物的异常区域的步骤还包括：排除所述工艺区的所述图像信息。