[发明专利]载片台平整度的调节方法及装置

说明书

一种载片台平整度的调节方法及装置，载片台包括多个支撑柱，支撑柱用于承载待承载物，方法包括：获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱；获得异常支撑柱对待承载物的作用区域；获得异常区域与作用区域的交叠面积；根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中，获取待承载物的异常区域及与异常区域对应的异常支撑柱后，根据异常支撑柱对待承载物的作用范围，获得异常区域与作用区域的交叠面积，根据交叠面积获取异常支撑柱的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱，使得异常支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。

技术领域

本发明涉及光学检测领域，尤其涉及一种载片台平整度的调节方法及装置。

背景技术

近年来，显示技术快速发展，对显示面板的要求也越来越高。然而，现有的显示面板的制造技术，无法完全避免显示缺陷的发生，因此在TFT、LTPS、AM-OLED等多种显示面板的制程中，需要对显示面板进行光学检测，如检查面板是否存在色不均(mura)、亮暗点、斑点、异物等缺陷。

随着智能化制造技术的发展，自动光学检测(Automatic Optic Inspection，简称AOI)在显示面板的生产检测环节日益广泛使用。自动光学检测采用无人化自动检测的方式，检测速度快、性能稳定、可调控性好，成为替代人工检测的主要检测模式。

目前，在面板自动光学检测设备中，出于成本考虑，进行全检扫描的探头一般不配备自动聚焦传感器，那么为了保证全检探头的聚焦清晰度，必须保证面板在机台内部的平面度水平不能超过全检镜头的景深。而在检测设备中，一般采用真空载片台对面板进行承载，在载片台上会有多个用于支撑面板的支撑柱(Support Pin)，面板的平面度主要通过人工手动调节这些支撑柱的高度来保证，因为支撑柱的数量众多，因此调平工作往往耗费很长的时间，且支撑柱调节精度难以保证，导致面板表面的平面度不佳。

发明内容

本发明实施例解决的问题是提供载片台平整度的调节方法及装置，提升待承载物的平面度。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种载片台平整度的调节方法，所述载片台包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物，所述方法包括：获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。

本发明实施例还提供一种载片台平整度的调节装置，包括：所述载片台，包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物；图像获取装置，用于采集所述待承载物的原始图像；处理单元，用于根据所述原始图像获取图像信息，并根据所述图像信息获取所述待承载物的异常区域以及与所述异常区域对应的异常支撑柱；计算单元，用于获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；以及获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；调节单元，用于根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：

本发明实施例所提供的载片台平整度的调节方法中，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱；获得所述异常支撑柱对所述待承载物的作用区域；获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积；根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式。本发明实施例中，获取所述待承载物的异常区域及与所述异常区域对应的异常支撑柱后，根据所述异常支撑柱对所述待承载物的作用范围，获得所述异常区域与所述作用区域的交叠面积，根据所述交叠面积获取所述异常支撑柱的调节模式，避免盲目的调节异常支撑柱，使得异常支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节精度，更易获得更好的待承载物平面度。

附图说明

图1是一种载片台平整度的调节方法的流程示意图；

图2是本发明载片台平整度的调节方法中采用的载片台；