[发明专利]一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备

权利要求书

1.一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室(1)、固定装置(12)和除尘装置(13)，其特征在于：所述蒸镀腔室(1)的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)的外壁固定连接有滑动块(3)，所述滑动块(3)的顶部外壁固定连接有蒸镀源(4)，所述蒸镀腔室(1)的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架(5)，所述掩模版支撑架(5)的顶部外壁设置有掩模版(6)，所述蒸镀腔室(1)的两侧内壁且位于掩模版支撑架(5)的上方固定连接有基板支撑架(7)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁固定连接有支撑板(8)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁且位于支撑板(8)的上方固定连接有支撑箱(9)，所述支撑箱(9)的内壁设置有基板(10)，所述支撑箱(9)的内壁滑动连接有按压板(11)；

所述固定装置(12)包括第一磁性块(121)与第二磁性块(122)，所述第一磁性块(121)与第二磁性块(122)的外壁之间固定连接有弹簧(123)，所述第一磁性块(121)的底部外壁活动连接有第一活动杆(124)与第二活动杆(125)，所述第一活动杆(124)与第二活动杆(125)交叉活动连接，所述第一活动杆(124)与第二活动杆(125)的外壁均套接有第一磁性套(126)和第二磁性套(127)；

所述第一磁性块(121)与第二磁性块(122)的外壁磁性相斥，所述第一磁性套(126)与第二磁性套(127)磁性相吸。

2.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述除尘装置(13)包括除尘箱(131)，所述除尘箱(131)的底部外壁与蒸镀腔室(1)的顶部外壁固定连接，所述除尘箱(131)的底部外壁固定连接有除尘管(132)，所述除尘管(132)的两侧外壁均活动连接有连接管(133)。

3.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述第一磁性块(121)的顶部外壁与支撑箱(9)的内壁顶部固定连接，所述第二磁性块(122)的底部外壁与按压板(11)的顶部外壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述第二磁性块(122)的两侧外壁均开设有与第一活动杆(124)和第二活动杆(125)相适配的活动孔(128)。

5.根据权利要求2所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述连接管(133)远离除尘管(132)的一端固定连接有风筒(134)，所述风筒(134)的外壁开设有出风口。

6.根据权利要求2所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述除尘管(132)的两侧外壁均固定连接有伸缩推杆(135)，所述伸缩推杆(135)远离除尘管(132)的一端与连接管(133)的外壁活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述蒸镀腔室(1)的内壁开设有滑槽，所述滑动块(3)的底部外壁通过滑槽与蒸镀腔室(1)的底部内壁滑动连接。