[发明专利]一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备

说明书

本发明公开了一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室、固定装置和除尘装置，所述蒸镀腔室的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定连接有滑动块，所述滑动块的顶部外壁固定连接有蒸镀源，所述蒸镀腔室的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架。通过按压板向下运动，磁性相吸的第一磁性套和第二磁性套，使第一磁性块与第二磁性块靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板与基板紧贴，通过蒸镀源对掩模版和基板进行蒸镀处理，本装置通过按压板、第一磁性块、第二磁性块的装置的联合设置，使按压板与基板进行更好的贴合，方便进行镀膜处理，避免基板与掩模板在加工时的变形。

技术领域

本发明属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备。

背景技术

随着移动通信技术的发展，手机功能有了极大发展，同时智能手机发展趋向于大屏化，而过大的屏幕会影响手机的便携性能，故设计可折叠型智能手机在移动通讯领域引起了极大关注。AMOLED是有源矩阵有机发光二极体面板。相比传统的液晶面板，AMOLED具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点。掩模版(mask)简称掩模，是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。掩模的性能直接决定了光刻工艺的质量。

现有镀膜设备中，由于金属掩模板和基板比较薄，一般只有几十微米厚，很容易发生形变，因而在实际使用中不可避免的会导致其与待蒸镀基板贴合的不紧，从而使得在蒸镀有机发光材料时，不能形成正确的图案，且现有的镀膜装置不方便对装置表面的灰尘进行清洁，从而影响镀膜效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，以解决上述背景技术中提出现有的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备在使用过程中，由于金属掩模板比较薄，镀膜装置不方便对装置表面的灰尘进行清洁，从而影响镀膜效果的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室、固定装置和除尘装置，所述蒸镀腔室的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定连接有滑动块，所述滑动块的顶部外壁固定连接有蒸镀源，所述蒸镀腔室的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架，所述掩模版支撑架的顶部外壁设置有掩模版，所述蒸镀腔室的两侧内壁且位于掩模版支撑架的上方固定连接有基板支撑架，所述基板支撑架的一侧外壁固定连接有支撑板，所述基板支撑架的一侧外壁且位于支撑板的上方固定连接有支撑箱，所述支撑箱的内壁设置有基板，所述支撑箱的内壁滑动连接有按压板。

所述固定装置包括第一磁性块与第二磁性块，所述第一磁性块与第二磁性块的外壁之间固定连接有弹簧，所述第一磁性块的底部外壁活动连接有第一活动杆与第二活动杆，所述第一活动杆与第二活动杆交叉活动连接，所述第一活动杆与第二活动杆的外壁均套接有第一磁性套和第二磁性套。

优选的，所述除尘装置包括除尘箱，所述除尘箱的底部外壁与蒸镀腔室的顶部外壁固定连接，所述除尘箱的底部外壁固定连接有除尘管，所述除尘管的两侧外壁均活动连接有连接管。

优选的，所述第一磁性块的顶部外壁与支撑箱的内壁顶部固定连接，所述第二磁性块的底部外壁与按压板的顶部外壁固定连接。

优选的，所述第一磁性块与第二磁性块的外壁磁性相斥，所述第一磁性套与第二磁性套磁性相吸。

优选的，所述第二磁性块的两侧外壁均开设有与第一活动杆和第二活动杆相适配的活动孔。

优选的，所述连接管远离除尘管的一端固定连接有风筒，所述风筒的外壁开设有出风口。

优选的，所述除尘管的两侧外壁均固定连接有伸缩推杆，所述伸缩推杆远离除尘管的一端与连接管的外壁活动连接。

优选的，所述蒸镀腔室的内壁开设有滑槽，所述滑动块的底部外壁通过滑槽与蒸镀腔室的底部内壁滑动连接。