[发明专利]一种淬火装置有效
申请号: | 202011644557.0 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112811794B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 温振杰;廖福;何永健 | 申请(专利权)人: | 江苏先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03B25/00;C03B27/04 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 颜希文;管莹 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 淬火 装置 | ||
1.一种淬火装置,其特征在于:包括用于放置待淬火件的工作台、用于套在待淬火件上的送风环、用于夹持待淬火件的夹具、用于套在待淬火件上的套环、供气泵、固定在所述工作台上的机座、转动式安装在所述机座上的丝杠、滑动式安装在所述丝杠上的螺母滑块,以及输出端与所述丝杠连接的伺服电机;所述螺母滑块与所述送风环连接;所述送风环上设有环形槽和与所述环形槽连通的第一送风孔,所述环形槽位于所述送风环的内圆周侧面上,所述供气泵的输出端与所述第一送风孔连通;其中,待淬火件为石英棒。
2.根据权利要求1所述的一种淬火装置,其特征在于:还包括喷气嘴、用于放置待淬火件的支撑板、隔热柱;所述工作台上设有通气孔,所述支撑板通过所述隔热柱固定在所述工作台上,所述支撑板位于所述通气孔的正上方,所述喷气嘴位于所述通气孔的正下方,所述支撑板上设有第二送风孔,所述喷气嘴的进气端与所述供气泵的输出端连通,所述喷气嘴的喷气端朝向所述通气孔。
3.根据权利要求2所述的一种淬火装置,其特征在于:还包括固定在所述工作台下方的导杆、滑动式安装在所述导杆上并用于调节所述喷气嘴与所述支撑板之间的距离的第一直线轴承、与所述第一直线轴承固定连接的安装板、安装在所述导杆上的限位板,以及安装在所述导杆上并用于锁紧所述第一直线轴承的锁紧件;所述喷气嘴安装在所述安装板上。
4.根据权利要求1所述的一种淬火装置,其特征在于:所述第一送风孔位于所述送风环的外圆周侧面上,所述供气泵的输出端连接有送风管;所述供气泵的输出端通过所述送风管与所述第一送风孔连通。
5.根据权利要求1所述的一种淬火装置,其特征在于:所述送风环的内圆周侧面与待淬火件之间具有通风间隙。
6.根据权利要求1所述的一种淬火装置,其特征在于:还包括安装在所述工作台上的直轴、均滑动式安装在所述直轴上的第一滑动座和第二滑动座;所述套环与所述第二滑动座连接,所述夹具与所述第一滑动座连接。
7.根据权利要求6所述的一种淬火装置,其特征在于:还包括第一连接轴;所述第一滑动座与所述第一连接轴的一端固定连接,所述夹具安装在所述第一连接轴的另一端上。
8.根据权利要求6所述的一种淬火装置,其特征在于:还包括第二连接轴;所述第二连接轴的一端与所述第二滑动座连接,所述第二连接轴的另一端与所述套环连接。
9.根据权利要求1所述的一种淬火装置,其特征在于:所述夹具上设有把手。
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