[实用新型]一种半导体生产抛光头模具打磨装置有效
| 申请号： | 202020004613.3 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN212553357U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 刘卫科 | 申请（专利权）人： | 自贡国晶科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/00 | 分类号： | B24B53/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B55/06 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 赵爱婷 |
| 地址： | 643000 四川省自贡市沿滩区高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 抛光 模具 打磨 装置 | ||
1.一种半导体生产抛光头模具打磨装置，包括：底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的顶端设置有电动推杆一(8)，所述电动推杆一(8)的顶端设置有支撑板(7)，所述支撑板(7)的另一端设置有电动推杆二(6)，所述电动推杆二(6)的下方设置有夹持外壳(5)，所述夹持外壳(5)的外表面设置有圆形通孔(13)，所述圆形通孔(13)的内部设置有螺纹旋进杆(4)，所述底板(1)的顶端远离电动推杆一(8)的一侧设置有基座(2)，所述基座(2)的顶端设置有电机(3)，所述电机(3)的输出轴的端部设置有打磨头(15)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于，所述电动推杆二(6)的底端设置有螺纹孔(11)，所述夹持外壳(5)的顶端设置有螺纹杆(12)，所述螺纹杆(12)设置在螺纹孔(11)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于，所述底板(1)靠近电动推杆一(8)的一端设置有吸尘箱(19)，所述吸尘箱(19)的内部设置有除尘板(17)，所述吸尘箱(19)的顶端设置有箱盖(16)，所述吸尘箱(19)的侧面设置有吸风管(9)，所述吸风管(9)的另一端设置有吸风罩(10)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于，所述吸尘箱(19)的内部且位于所述除尘板(17)的下方设置有电机二(14)，所述电机二(14)的顶端设置有风扇(20)。
5.根据权利要求3所述的一种半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于，所述除尘板(17)的形状为锥形，所述吸尘箱(19)的中部设置有凸缘(18)，所述除尘板(17)设置在凸缘(18)上。
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