[实用新型]一种真空直线导入装置

权利要求书

1.一种真空直线导入装置，其特征在于：包括电机长螺杆、贯通式电机、真空法兰盘、波纹管和螺杆固定隔离盘，其中电机长螺杆第一端固定在隔离盘第一端中心位置，所述波纹管套装在电机长螺杆外侧，且波纹管第一端密封连接在螺杆固定隔离盘第一端端面，所述真空法兰盘套装在电机长螺杆外侧，且真空法兰盘第一端端面为电机安装座，所述贯通式电机的动力端与电机长螺杆配并安装在真空法兰盘第一端端面，所述真空法兰盘第二端端面迷密封连接在波纹管第二端；

所述贯通式电机可通过与电机长螺杆配合，使贯通式电机在电机长螺杆上轴向移动，并通过真空法兰盘驱动波纹管伸缩。

2.根据权利要求1所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述螺杆固定隔离盘的第二端用于外接真空设备，所述螺杆固定隔离盘具有贯穿其两端面的通孔。

3.根据权利要求2所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述通孔位于非轴心位置，且轴向位置与电机长螺杆端部交错。

4.根据权利要求1所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述波纹管端部与螺杆固定隔离盘、波纹管端部与真空法兰盘均通过焊接方式固定连接。

5.根据权利要求1所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述电机长螺杆与所述螺杆固定隔离盘通过螺栓固定连接。

6.根据权利要求1所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述贯通式电机为步进式电机。

7.根据权利要求1所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述贯通式电机型号为57BYGH301T10。

8.根据权利要求1所述的真空直线导入装置，其特征在于：所述螺杆固定隔离盘的直径与所述波纹管的外径一致。