[实用新型]一种真空直线导入装置

说明书

本实用新型专利涉及真空环境中的导入装置，一种真空直线导入装置，其中电机长螺杆第一端固定在隔离盘第一端中心位置，波纹管套装在电机长螺杆外侧，且波纹管第一端密封连接在螺杆固定隔离盘第一端端面，真空法兰盘套装在电机长螺杆外侧，且真空法兰盘第一端端面为电机安装座，贯通式电机的动力端与电机长螺杆配并安装在真空法兰盘第一端端面，真空法兰盘第二端端面迷密封连接在波纹管第二端；贯通式电机可通过与电机长螺杆配合，使贯通式电机在电机长螺杆上轴向移动，并通过真空法兰盘驱动波纹管伸缩。本装置可以在真空环境中实现位置精准的、速度可控的和可重复的直线位移和运动，具有效率高、制作和调试简化并且稳定性好的优点。

技术领域

本实用新型专利涉及真空环境中的导入装置，特别是从大气环境向真空环境传递直线推动力的一种装置，从而实现物件在真空环境中的直线位移和运动。

背景技术

现代科学技术的研究和应用，经常需要在真空或者超高真空的环境中开展，也经常需要去精准控制置于其中的工件或者工具的直线位移和运动。几乎所有能产生位移量的装置，都不适宜直接安置于真空运行环境之中，或者是因为其本身的愿因(如需润滑或者产生发热等)会影响真空环境，或者是因为在真空环境中所施行的某种工艺条件(如高温或者气体氛围等)会对其不利。正确的也是通常的做法是将其置于大气环境中，通过某种真空虽隔离而位移和运动可传递的导入机制，以实现真空环境中的直线位移和运动。

中国实用新型专利号ZL200920011032.6的《超高真空直线导入器》和中国实用新型专利号ZL200920011033.0的《超高真空直线推动导入器》列举的是手动推拉的移动导入。其中在一个可以沿轴向伸缩的波纹管的一个端面相联结的隔离盘的两侧分别焊上推动杆(大气侧)和导入工件(真空侧)，就可以实现手动推拉的导入装置的活动端面的位移。示例如图1.

但是，现在有更多的应用场合，是需要有位置精准的、速度可控的和可重复的导入装置的直线位移和运动，这就需要采用如电机等运动机构，还需要合适的耦台方式。

现有技术中的直线导入装置中，为了将电机的转动输出变为直线运动，首先是将电机轴的转动变为一丝杆的转动。有通过连轴器将电机转轴连接到另一个的丝杆轴，也有所谓直线丝杆电机，其电机转轴的延长也是丝杆轴。任一种情况下，丝杆都需要有配合的丝杆螺母和滑座相连接。当电机的输出轴带动丝杆转动时，实现了滑座的轴向直线运动。若进一步将上述的推动杆的自由端与滑座相联，也就实现了电机控制的位移和运动的直线导入。

中国实用新型专利号ZL200920014985.8的《精密重载真空直线导入装置》所列举的就是这样的一种装置。

但是现有的上述技术中，存在着以下几个缺点和不足：

1.要将电机的旋转运动通过连轴器、丝杆、丝杆螺母和滑座连接配合完成轴向直线运动，机械传动结构复杂，零件多，生产成本高。即使是采用直线丝杆电机，也只是省去了连轴器，而丝杆螺母和滑座还不能少。

2.要使得滑座的运动与推动杆始终平行于一条电机的轴线，这对于材料和部件的选择和设计，对于安装、调试和固定，都是极为苛刻的。

3.各部件中最重的电机却是位于承载此导入装置的固定法兰盘的最远端，而配重失调的设计会对法兰盘、直通管道和与真空腔体的连接部位，施加额外的力矩，特别是在非垂直安放的情况，造成焊缝损伤，真空破环。

4.装置中包含了有着同样伸缩量的滑块和推动杆的两者并列的平行运动，装置的截面积就会较大。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出的真空直线导入装置，其可以在真空环境中实现位置精准的、速度可控的和可重复的直线位移和运动，具有配置合理、效率高、制作和调试简化并且稳定性好的优点。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：