[实用新型]检测装置

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

光源组件，所述光源组件包括检测光源以及反射装置；

所述检测光源用于出射检测光束；

所述反射装置包括反射面，所述反射装置具有第一姿态以及第二姿态，当所述反射装置处于所述第一姿态时，所述检测光束经第一入射组件形成第一检测光束入射至检测目标表面，当所述反射装置处于所述第二姿态时，所述检测光束经第二入射组件形成第二检测光束入射至所述检测目标表面；

所述反射装置通过使所述反射面沿第一轴移动，或者，使所述反射面绕所述第一轴转动进行姿态切换。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一轴的延伸方向垂直或平行于所述检测目标表面。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：检测台，所述检测台具有安装检测部件的安装台，所述反射装置远离所述反射面的一端设置在所述安装台上。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：所述第一入射组件和所述第二入射组件，所述第一入射组件用于改变第一检测光束的传播方向，所述第二入射组件用于改变第二检测光束的传播方向。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述反射装置包括：

反射镜和驱动机构，所述反射镜包含所述反射面；

所述驱动机构用于驱动所述反射镜沿着所述第一轴移动，或者，用于驱动所述反射镜绕所述第一轴转动。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述反射装置还包括：反射镜安装座，所述反射镜设置在所述反射镜安装座上；所述反射镜安装座与所述驱动机构连接。

7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述驱动机构为电缸或气缸。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述反射装置处于所述第一姿态时，所述反射面远离所述光源组件与所述第一入射组件之间的光路，所述检测光束以第一检测光束入射至所述检测目标表面；所述反射装置处于所述第二姿态时，所述反射面位于所述光源组件与所述第二入射组件之间的光路，所述检测光束以第二检测光束入射至所述检测目标表面。

9.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述反射装置还包括：至少两个调节机构，用于调节反射镜的俯仰角。

10.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述反射装置还包括：一个或多个平行设置的连接杆，所述连接杆两端分别连接所述反射镜与所述驱动机构，所述驱动机构通过驱动所述连接杆使所述反射镜沿所述连接杆延伸方向移动。

11.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，入射至所述反射面的检测光束的传播方向平行于所述检测目标表面；自所述反射面出射的检测光束的传播方向平行于所述检测目标表面。

12.根据权利要求1-11任一项所述的检测装置，其特征在于，所述第一检测光束与所述第二检测光束的入射角度不同。