[实用新型]一种CVD碳化硅进气系统

权利要求书

1.一种CVD碳化硅进气系统，包括反应腔(1)和混气罐(3)，所述混气罐(3)一侧固定连通有三个供气管(2)，所述混气罐(3)另一侧固定连通有进气管(4)，所述反应腔(1)一侧设置有真空泵(8)，所述反应腔(1)上还固定连通有出气管(6)，其特征在于，所述反应腔(1)外侧壁上呈周向均匀地固定连接有若干个固定机构(5)，若干个所述固定机构(5)上固定连接有通气管道(7)，且所述通气管道(7)缠绕在所述反应腔(1)外侧壁上，所述进气管(4)与所述通气管道(7)之间相互连通，所述通气管道(7)内侧呈周向均匀地固定连通有三个进气口(9)，且三个所述进气口(9)均分别与所述反应腔(1)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种CVD碳化硅进气系统，其特征在于，所述固定机构(5)包括安装块(10)，所述安装块(10)固定连接在所述反应腔(1)的外侧壁上，所述安装块(10)一端固定连接有下夹板(11)，所述下夹板(11)一端固定连接有第一紧固板(12)，所述下夹板(11)上端铰接有上夹板(15)，且所述上夹板(15)和所述下夹板(11)之间为相对设置，所述上夹板(15)一端固定连接有第二紧固板(13)，且所述第一紧固板(12)和所述第二紧固板(13)之间通过螺栓固定连接在一起，所述通气管道(7)设置在所述下夹板(11)和所述上夹板(15)之间。

3.根据权利要求2所述的一种CVD碳化硅进气系统，其特征在于，所述下夹板(11)和所述上夹板(15)的内表面上均分别粘接有保护层(14)。

4.根据权利要求2所述的一种CVD碳化硅进气系统，其特征在于，所述下夹板(11)和所述上夹板(15)均为弧形结构件。