[实用新型]旋转转移装置有效
申请号: | 202020021939.7 | 申请日: | 2020-01-06 |
公开(公告)号: | CN211125615U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 吴云松 | 申请(专利权)人: | 深圳市大成自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明区玉塘*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转 转移 装置 | ||
1.一种旋转转移装置,其特征在于,包括:
第一驱动装置和工作件:所述工作件与所述第一驱动装置的输出轴相连接,所述第一驱动装置驱动所述工作件转动;
气滑环:所述气滑环上包含有通道,所述通道的一端开口通过管路与所述工作件相连接,所述通道的另一端用于与负压装置相连接,所述气滑环与所述工作件同方向同步转动。
2.根据权利要求1所述的旋转转移装置,其特征在于,所述气滑环套接在所述第一驱动装置的输出轴上。
3.根据权利要求2所述的旋转转移装置,其特征在于,所述工作件位于所述输出轴相对所述第一驱动装置的壳体的另一侧的端部,所述气滑环套接在所述壳体和所述输出轴的端部之间。
4.根据权利要求1所述的旋转转移装置,其特征在于,包含至少两个所述工作件,每个所述工作件分别对应所述气滑环中的一条所述通道。
5.根据权利要求1所述的旋转转移装置,其特征在于,包括数个摆臂,所述摆臂的一端与所述输出轴相连接,所述摆臂上至少连接有一个所述工作件。
6.根据权利要求5所述的旋转转移装置,其特征在于,位于同一个所述摆臂上的至少部分所述工作件连接同一个所述通道。
7.根据权利要求5所述的旋转转移装置,其特征在于,所述输出轴上设有第一滑轨,所述第一滑轨沿着所述输出轴延伸的方向设置,所述摆臂能够在所述第一滑轨上移动。
8.根据权利要求7所述的旋转转移装置,其特征在于,还包括基座和第二驱动装置,所述第二驱动装置位于所述基座上,所述基座上设有第二通孔,所述第二驱动装置的输出端能够穿过所述第二通孔,推动述摆臂沿着所述第一滑轨移动。
9.根据权利要求7所述的旋转转移装置,其特征在于,还包括基座、第二驱动装置和转动件,所述第二驱动装置位于所述基座上,所述基座上设有第二通孔,所述转动件套接在所述第二驱动装置的输出轴上,所述转动件上设有触发端,随所述转动件转动的触发端使得至少部分所述触发端能够穿过所述第二通孔,推动所述摆臂沿着所述第一滑轨移动。
10.根据权利要求7所述的旋转转移装置,其特征在于,还包括基座、第二驱动装置、转动件和连接件,所述第二驱动装置位于所述基座上,所述基座上设有第二通孔和第二滑轨,所述转动件套接在所述第二驱动装置的输出轴上,所述转动件上设有触发端,随所述转动件转动的触发端能够推动所述连接件在所述第二滑轨上移动,使得至少部分所述连接件能够穿过所述第二通孔,推动所述摆臂沿着所述第一滑轨移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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