[实用新型]一种可调式磁场装置有效

专利信息
申请号: 202020046677.X 申请日: 2020-01-10
公开(公告)号: CN212025446U 公开(公告)日: 2020-11-27
发明(设计)人: 毛念新;黄翔鄂;严仲君 申请(专利权)人: 上海嘉森真空科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/54;C23C14/14;C23C14/06
代理公司: 上海三方专利事务所(普通合伙) 31127 代理人: 吴玮
地址: 201801 上海*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 调式 磁场 装置
【权利要求书】:

1.一种可调式磁场装置,包括冷却块、磁铁支架、磁铁盖板、圆形磁铁和磁控固定板,其特征在于:所述冷却块由槽形内框体组成,所述冷却块内部设有磁铁支架,所述磁铁支架内部设有若干圆形磁铁,所述磁铁支架上端设有磁铁盖板,所述磁铁盖板上端设有磁控固定板。

2.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述冷却块包括进水口、出水口、第一气密密封槽、第二气密密封槽、水槽、抽气孔、中心磁铁支架槽、第一长条磁铁支架槽、第二长条磁铁支架和端部磁铁支架槽,所述冷却块内框中心位置设有中心磁铁支架槽,所述中心磁铁支架槽上下两侧分别设有第一长条磁铁支架槽与第二长条磁铁支架,所述中心磁铁支架槽左侧设有进水口,所述中心磁铁支架槽右侧设有出水口,所述进水口与出水口外侧设有端部磁铁支架槽,所述冷却块正反两面边缘分别设有第一气密密封槽与第二气密密封槽,所述冷却块反面第二气密密封槽内圈设有水槽,所述冷却块四周均匀分布若干抽气孔。

3.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁铁支架包括中心磁铁支架、第一长条磁铁支架、第二长条磁铁支架和端部磁铁支架,所述中心磁铁支架设于中心磁铁支架槽上端,所述第一长条磁铁支架设于第一长条磁铁支架槽上端,所述第二长条磁铁支架设于第二长条磁铁支架槽上端。

4.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述圆形磁铁每五块组成一个阴极。

5.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁控固定板为POM材质。

6.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁铁盖板为SS400材质。

7.根据权利要求2所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述冷却块为316L材质。

8.根据权利要求3所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁铁支架为A6082材质。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海嘉森真空科技有限公司,未经上海嘉森真空科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020046677.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top