[实用新型]一种可调式磁场装置有效
申请号: | 202020046677.X | 申请日: | 2020-01-10 |
公开(公告)号: | CN212025446U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 毛念新;黄翔鄂;严仲君 | 申请(专利权)人: | 上海嘉森真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/14;C23C14/06 |
代理公司: | 上海三方专利事务所(普通合伙) 31127 | 代理人: | 吴玮 |
地址: | 201801 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调式 磁场 装置 | ||
1.一种可调式磁场装置,包括冷却块、磁铁支架、磁铁盖板、圆形磁铁和磁控固定板,其特征在于:所述冷却块由槽形内框体组成,所述冷却块内部设有磁铁支架,所述磁铁支架内部设有若干圆形磁铁,所述磁铁支架上端设有磁铁盖板,所述磁铁盖板上端设有磁控固定板。
2.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述冷却块包括进水口、出水口、第一气密密封槽、第二气密密封槽、水槽、抽气孔、中心磁铁支架槽、第一长条磁铁支架槽、第二长条磁铁支架和端部磁铁支架槽,所述冷却块内框中心位置设有中心磁铁支架槽,所述中心磁铁支架槽上下两侧分别设有第一长条磁铁支架槽与第二长条磁铁支架,所述中心磁铁支架槽左侧设有进水口,所述中心磁铁支架槽右侧设有出水口,所述进水口与出水口外侧设有端部磁铁支架槽,所述冷却块正反两面边缘分别设有第一气密密封槽与第二气密密封槽,所述冷却块反面第二气密密封槽内圈设有水槽,所述冷却块四周均匀分布若干抽气孔。
3.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁铁支架包括中心磁铁支架、第一长条磁铁支架、第二长条磁铁支架和端部磁铁支架,所述中心磁铁支架设于中心磁铁支架槽上端,所述第一长条磁铁支架设于第一长条磁铁支架槽上端,所述第二长条磁铁支架设于第二长条磁铁支架槽上端。
4.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述圆形磁铁每五块组成一个阴极。
5.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁控固定板为POM材质。
6.根据权利要求1所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁铁盖板为SS400材质。
7.根据权利要求2所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述冷却块为316L材质。
8.根据权利要求3所述一种可调式磁场装置,其特征在于:所述磁铁支架为A6082材质。
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