[实用新型]一种电子束聚焦位偏移测试装置

权利要求书

1.一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统(1)、聚焦系统(2)、波纹管组件(4)以及扫描系统(5)，所述电子束引出系统(1)通过支撑管(7)与聚焦系统(2)连接，所述聚焦系统(2)通过四通组件(8)与波纹管组件(4)连接，所述扫描系统(5)位于波纹管组件(4)底端；其特征在于：还包括测量装置(6)；所述四通组件(8)的法兰与波纹管组件(4)的法兰之间设置有光缆组件(3)，所述测量装置(6)接地并且与光缆组件(3)电性连接，所述光缆组件(3)包括法兰焊接组件(31)。

2.根据权利要求1所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述光缆组件(3)还包括合金垫圈(32)和绝缘片(33)；所述法兰焊接组件(31)的上端面依次通过合金垫圈(32)和绝缘片(33)与四通组件(8)的法兰连接，所述法兰焊接组件(31)的下端面依次通过合金垫圈(32)和绝缘片(33)与波纹管组件(4)的法兰连接。

3.根据权利要求2所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述法兰焊接组件(31)包括法兰体(311)、盖环(314)以及水管接头(316)；所述法兰体(311)上同轴设置有环形水槽(313)，所述环形水槽(313)内设置有隔板(315)，所述盖环(314)封闭盖在环形水槽(313)上并且与隔板(315)相配合。

4.根据权利要求3所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述水管接头(316)位于法兰体(311)的侧面，所述水管接头(316)的数量为两个并且分别与隔板(315)两侧的环形水槽(313)侧壁相连通。

5.根据权利要求4所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述法兰体(311)中部同轴设置有通孔(312)；所述合金垫圈(32)和绝缘片(33)的中心孔同轴设置，并且孔径均大于法兰体(311)中部的通孔(312)的孔径。

6.根据权利要求5所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述法兰焊接组件(31)的材质为T2铜，所述合金垫圈(32)的材质为可伐合金，所述绝缘片(33)的材质为95瓷；所述测量装置(6)具体为电流检测仪。