[实用新型]一种电子束聚焦位偏移测试装置

说明书

本实用新型涉及一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统、聚焦系统、波纹管组件以及扫描系统，所述电子束引出系统通过支撑管与聚焦系统连接，所述聚焦系统通过四通组件与波纹管组件连接，所述扫描系统位于波纹管组件底端；还包括测量装置；所述四通组件的法兰与波纹管组件的法兰之间设置有光缆组件，所述测量装置接地并且与光缆组件电性连接，所述光缆组件包括法兰焊接组件。本实用新型可对电子束束斑位进行在线实时检测，并且可在发生偏移时进行纠正，形成反馈机制，避免电子束偏移打在真空管道上，且可避免造成设备严重损坏以及由于电子束偏移打在真空管道外壁上后产生的X射线。

技术领域

本实用新型涉及电子加速器相关领域，具体涉及一种电子束聚焦位偏移测试装置。

背景技术

由于低能电子束设备存在能量低，电子束束功率大的特点，电子束在产生、加速及传输过程中受空间磁场、空间电场、空间电荷效应等诸多因素影响，其轨迹容易产生偏移，致使设备损坏，辐照均匀性波动、横向辐照宽度变化等诸多影响。

目前低能电子束设备为了防止电子束偏移，一般采用外部增加磁屏蔽装置、改善加速管引出结构等方式，但是由于突发情况(真空突变、加速管层间放电、高压电源输入纹波影响、聚焦电源及磁铁故障等)引发的偏移则无法有效避免。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种电子束聚焦位偏移测试装置，对电子束束斑位进行在线实时检测，并且可在发生偏移时进行纠正，形成反馈机制，避免电子束偏移打在真空管道上，因此可保证产品辐照的均匀性和横向宽度，且可避免造成设备严重损坏以及由于电子束偏移打在真空管道外壁上后产生的X射线。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：

一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统、聚焦系统、波纹管组件以及扫描系统，所述电子束引出系统通过支撑管与聚焦系统连接，所述聚焦系统通过四通组件与波纹管组件连接，所述扫描系统位于波纹管组件底端；还包括测量装置；所述四通组件的法兰与波纹管组件的法兰之间设置有光缆组件，所述测量装置接地并且与光缆组件电性连接，所述光缆组件包括法兰焊接组件。

进一步的，所述光缆组件还包括合金垫圈和绝缘片；所述法兰焊接组件的上端面依次通过合金垫圈和绝缘片与四通组件的法兰连接，所述法兰焊接组件的下端面依次通过合金垫圈和绝缘片与波纹管组件的法兰连接。

进一步的，所述法兰焊接组件包括法兰体、盖环以及水管接头；所述法兰体上同轴设置有环形水槽，所述环形水槽内设置有隔板，所述盖环封闭盖在环形水槽上并且与隔板相配合。

进一步的，所述水管接头位于法兰体的侧面，所述水管接头的数量为两个并且分别与隔板两侧的环形水槽侧壁相连通。

进一步的，所述法兰体中部同轴设置有通孔；所述合金垫圈和绝缘片的中心孔同轴设置，并且孔径均大于法兰体中部的通孔的孔径。

进一步的，所述法兰焊接组件的材质为T2铜，所述合金垫圈的材质为可伐合金，所述绝缘片的材质为95瓷；所述测量装置具体为电流检测仪。

本实用新型的有益效果为：一种电子束聚焦位偏移测试装置，通过光缆组件和测量装置的配合使用，可对真空管道内的电子束束斑位是否发生偏移进行检测，如果电子束束斑位发生偏移，则电子束射线会打在光缆组件上，此时测量装置会检测到，并且可在发生偏移时进行纠正，形成反馈机制，避免射线打在真空管道上，因此可保证产品辐照的均匀性和横向宽度，且可避免造成设备严重损坏以及由于电子束偏移打在真空管道外壁上后产生的X射线。

附图说明

图1为本实用新型一种电子束聚焦位偏移测试装置的结构示意图。

图2为本实用新型一种电子束聚焦位偏移测试装置的法兰焊接组件的结构示意图。

图3为图3所示结构的下端视角的示意图。