[实用新型]一种石英罩小孔盖板组件有效
申请号: | 202020061593.3 | 申请日: | 2020-01-13 |
公开(公告)号: | CN211645444U | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 陈浩;何文俊;冯永平;孙铁成 | 申请(专利权)人: | 南京国盛电子有限公司 |
主分类号: | C30B25/12 | 分类号: | C30B25/12;C30B29/06 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张弛 |
地址: | 210000 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 小孔 盖板 组件 | ||
1.一种石英罩小孔盖板组件,包括石英罩及小孔盖板,所述石英罩自上表面向下开设的小孔,所述小孔盖板覆盖在该小孔上,其特征在于,所述小孔盖板包括板体,该板体具有两面的光滑表面,其中一个表面突出有两个平行设置的长方体定位块,该两个定位块均位于小孔内,且两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位。
2.根据权利要求1所述的石英罩小孔盖板组件,其特征在于:所述小孔盖板为石英材料。
3.根据权利要求1所述的石英罩小孔盖板组件,其特征在于:还包括激光定位仪,该激光定位仪位于小孔盖板上方且激光出射口正对所述激光对接部位。
4.根据权利要求1或2或3所述的石英罩小孔盖板组件,其特征在于:所述小孔盖板的长度为60mm~80mm;小孔盖板的宽度为30mm~40mm;小孔盖板的厚度为不超过1.5mm;定位块的长度为10mm~12mm;定位块的宽度为1mm~2mm;定位块的高度为2mm~4mm;两个定位块之间的间距为10mm~12mm。
5.根据权利要求3所述的石英罩小孔盖板组件,其特征在于:所述两个定位块对称的放置在小孔内。
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