[实用新型]一种石英罩小孔盖板组件

说明书

本实用新型专利提供了一种新型结构的石英罩小孔盖板组件，包括石英罩及小孔盖板，小孔盖板包括板体，该板体具有两面的光滑表面，其中一个表面突出有两个平行设置的长方体定位块，该两个定位块均位于小孔内，且两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位；激光对接部位的厚度为较薄的板体的厚度，而不像现有技术中是较厚的凸台的厚度，故本技术方案可以有效的避免定位激光因为小盖板结构的不合理引起的光线发散，导致激光定位仪不能收到反馈信号影响基座定位的缺陷。种新型小盖板结构在激光对接部位的厚度更薄，减弱了对硅外延反应时气体的吸力，其表面发生淀积的能力极大地降低。

技术领域

本实用新型涉及利用化学气相沉积原理生产晶圆的硅外延技术设备领域，着重考虑的是一种石英罩小孔盖板组件。

背景技术

硅外延技术常指通过化学沉积方法在硅片表面淀积一层一定厚度和电阻率的单晶硅层的技术，而基座的定位将直接决定能否顺利进行硅片的淀积。这是因为硅片生长时要求硅片尽可能的处于基座基坑的中心位置，而无法进行基座的定位则不能准确的将硅片放置于基座基坑的准确位置中，这将会极大地影响到淀积的过程。

基座的定位是依靠一个激光传感器进行定位，激光传感器发出的光束依次经过钟罩、小盖板、带孔的热壁到基座并反射回来进行基座定位。在激光的路线上小盖板的结构是影响激光光束的一个重要的因素。

如图1至图3所示，为现有技术中的老式小盖板，老式小盖板3’安装在石英罩1’上。现有的老式小盖板具有一个凸台2’，用于定位的激光仪将激光穿过凸台进行基座的定位，然而由于盖板安装或者工作时盖板移动的原因，使得激光定位仪发出的激光信号时常会打到小盖板凸台2’的边缘，导致激光光线发散，没有信号返回，不能得到正确的反馈数据，使基座不能正确定位坑的位置。再者，由于老式小盖板正反两面都是平面，在放置时必然会有一面会容易发生磨损，使用寿命得到限制。

因此，急需寻求一种新的技术方案，以便解决上述问题。

发明内容

发明目的：本实用新型的目标是提供一种新型结构的石英罩小孔盖板组件，该结构可以有效的便于激光探头进行基座的定位。

技术方案：本实用新型可采用以下技术方案：

一种石英罩小孔盖板组件，包括石英罩及小孔盖板，所述石英罩自上表面向下开设的小孔，所述小孔盖板覆盖在该小孔上，所述小孔盖板包括板体，该板体具有两面的光滑表面，其中一个表面突出有两个平行设置的长方体定位块，该两个定位块均位于小孔内，且两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位。

进一步的，所述小孔盖板为石英材料。

进一步的，还包括激光定位仪，该激光定位仪位于小盖板上方且激光出射口正对所述激光对接部位。

进一步的，所述小盖板的长度为60mm～80mm；小盖板的宽度为30mm～40mm；小盖板的厚度为不超过1.5mm；定位块的长度为10mm～12mm；定位块的宽度为1mm～2mm；定位块的高度为2mm～4mm；两个定位块之间的间距为10mm～12mm。

进一步的，所述两个定位块对称的放置在小孔内。

有益效果：依靠两个平行设置的长方体定位块与石英罩小孔进行定位，而两个定位孔之间的板体部分作为激光对接部位，即该激光对接部位的厚度为较薄的板体的厚度，而不像现有技术中是较厚的凸台的厚度，故本技术方案可以有效的避免定位激光因为小盖板结构的不合理引起的光线发散，导致激光定位仪不能收到反馈信号影响基座定位的缺陷。种新型小盖板结构在激光对接部位的厚度更薄，减弱了对硅外延反应时气体的吸力，其表面发生淀积的能力极大地降低。

附图说明

图1是现有技术中的老式小盖板结构示意图。

图2是图1中A-A方向剖视图。