[实用新型]一种用于靶材检漏的快装接头结构有效
申请号: | 202020062914.1 | 申请日: | 2020-01-13 |
公开(公告)号: | CN211624508U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 郭文明 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | F16L23/10 | 分类号: | F16L23/10;F16L23/18;G01M3/26 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 检漏 接头 结构 | ||
1.一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:快装接头结构包括有连接于负压检漏仪的快装端头(2)、检漏接头(3)和环抱式的锁扣装置(1),
快装端头(2)的端部成型设置有限位环一(21);
检漏接头(3)的前端成型设置有用于连接工件接口的工件接合部(32),检漏接头(3)的后端成型设置有限位环二(31),限位环二(31)和限位环一(21)相互合拢;
锁扣装置(1)包括呈半圆环形的锁板一(11)和锁板二(12),锁板一(11)和锁板二(12)之间翻转连接,锁板一(11)和锁板二(12)的外端部之间设置有锁接结构,锁板一(11)和锁板二(12)的内侧分别开设有锁紧槽(10),限位环二(31)和限位环一(21)共同卡嵌于锁板一(11)以及锁板二(12)的锁紧槽(10)内。
2.根据权利要求1所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述锁紧槽(10)的槽口宽度由外向内逐渐变窄,锁紧槽(10)的两个侧壁分别抵顶作用于所述锁板一(11)以及所述锁板二(12)的侧边。
3.根据权利要求2所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述限位环一(21)和所述限位环二(31)的合拢配合面之间设置有气密结构,气密结构包括一密封圈(211),密封圈(211)固接于限位环一(21)的合拢配合面或限位环二(31)的合拢配合面,当限位环二(31)和限位环一(21)相互合拢时,密封圈(211)的贴紧于限位环一(21)的合拢配合面或限位环二(31)的合拢配合面。
4.根据权利要求1至3任一项所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述锁接结构包括活动设置于所述锁板一(11)的外端部的锁接摆杆(13)、设置于所述锁板二(12)的外端部的锁接部以及锁紧件,
锁接摆杆(13)的外侧段设置有外螺纹;
锁紧件设置有连接孔,连接孔内设置有内螺纹;
锁紧件的连接孔螺纹连接于锁接摆杆(13),并且锁紧件的侧部与锁接部限位配合。
5.根据权利要求4所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述锁板一(11)的外端部沿其径向向外方向凸出设置有台阶一(111),所述锁板二(12)的外端部沿其径向向外方向凸出设置有台阶二(121),
所述锁接摆杆(13)的内端枢接于台阶一(111),
台阶二(121)的外侧凹缺设置有一缺口(122),锁接摆杆(13)摆动嵌入于缺口(122)内,所述锁紧件的内侧面抵顶作用于台阶二(121)的台阶面。
6.根据权利要求5所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述锁紧件包括一蝶形螺母(15),蝶形螺母(15)螺纹连接于所述锁接摆杆(13)的外侧段,锁接摆杆(13)活动套设有一平垫圈(14),平垫圈(14)夹设于蝶形螺母(15)的底面和所述台阶二(121)的台阶面之间。
7.根据权利要求2所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述锁板一(11)以及所述锁板二(12)的侧边分别成型有圆角边,锁板一(11)以及锁板二(12)的圆角边分别与所述锁紧槽(10)的两个侧壁滑动抵顶配合。
8.根据权利要求2所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述锁紧槽(10)内固定有密封垫(101),密封垫(101)的表面分别紧贴于所述限位环一(21)和所述限位环二(31)的外侧面。
9.根据权利要求8所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述密封垫(101)由软质的橡胶材料所制。
10.根据权利要求3所述的一种用于靶材检漏的快装接头结构,其特征在于:所述限位环一(21)的合拢配合面凹陷设置有凹槽,凹槽沿圆周方向闭合设置,所述密封圈(211)嵌入固定于凹槽内,并且密封圈(211)凸出于限位环一(21)的合拢配合面,密封圈(211)由软质的橡胶材料所制。
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