[实用新型]一种用于靶材检漏的快装接头结构有效

专利信息
申请号: 202020062914.1 申请日: 2020-01-13
公开(公告)号: CN211624508U 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 郭文明 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: F16L23/10 分类号: F16L23/10;F16L23/18;G01M3/26
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 检漏 接头 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种用于靶材检漏的快装接头结构,包括有快装端头、检漏接头和环抱式的锁扣装置。快装端头的端部成型设置有限位环一;检漏接头的前端成型设置有用于连接工件接口的工件接合部,检漏接头的后端成型设置有限位环二,限位环二和限位环一相互合拢;锁扣装置包括呈半圆环形的锁板一和锁板二,锁板一和锁板二之间翻转连接,锁板一和锁板二的外端部之间设置有锁接结构,锁板一和锁板二的内侧分别开设有锁紧槽,限位环二和限位环一共同卡嵌于锁板一以及锁板二的锁紧槽内。与现有技术相比,本接头结构通过环抱式的锁扣装置通过卡扣方式对限位环一和限位环二进行快速固定,操作简单,结构稳定,省时省力,且保证了检漏工作顺利进行。

技术领域

本实用新型涉及靶材生产设备技术领域,尤其是涉及一种用于靶材检漏的快装接头结构。

背景技术

气密性检测仪采用高精度的电子压力传感器,由气源按检测要求提供稳定的检测气源,然后通过设备加压到被测工件上,当工件内部压力达到检测压力后,气体经过一段时间的稳定后进入检测阶段。当被检测工件没有泄露时,检测压力基本保持不变,当被测工件存在泄露,工件内的气体压力随着气体从被测工件中泄露而逐步下降,压力传感器实时输出相应的压力变化,进而按预先设置的参数,系统自动判断是否泄露,负压式的检漏仪常用于靶材检漏。

由于靶材的规格以及种类各不相同,在进行不同规格的靶材的检漏工作中,需要对检漏仪的接头进行相应的更换。在现有技术中,为了确保检漏仪负压工作的顺利进行,需要保证接头以及气管的气密性,而接头和气管之间为不可分拆的固定组件,并且与待检漏工件唯一匹配。存在着操作繁琐和测漏成本高的缺陷。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种用于靶材检漏的快装接头结构,实现检漏接头的快速换装,以适用于不同规格的工件的检漏工作,气密性高,气密结构稳定可靠,检漏结果准确。

为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:一种用于靶材检漏的快装接头结构,快装接头结构包括有连接于负压检漏仪的快装端头、检漏接头和环抱式的锁扣装置。快装端头的端部成型设置有限位环一;检漏接头的前端成型设置有用于连接工件接口的工件接合部,检漏接头的后端成型设置有限位环二,限位环二和限位环一相互合拢;锁扣装置包括呈半圆环形的锁板一和锁板二,锁板一和锁板二之间翻转连接,锁板一和锁板二的外端部之间设置有锁接结构,锁板一和锁板二的内侧分别开设有锁紧槽,限位环二和限位环一共同卡嵌于锁板一以及锁板二的锁紧槽内。该快装接头结构通过环抱式的锁扣装置通过卡扣方式对限位环一和限位环二进行快速固定,操作简单,结构稳定,省时省力,且保证了检漏工作顺利进行。

在进一步的技术方案中,锁紧槽的槽口宽度由外向内逐渐变窄,锁紧槽的两个侧壁分别抵顶作用于锁板一以及锁板二的侧边。该结构通过变窄的锁紧槽对限位环一和限位环二进行卡扣锁定,避免限位环一和限位环二之间反生意外偏移,进一步加强了连接结构的稳定性。

在进一步的技术方案中,限位环一和限位环二的合拢配合面之间设置有气密结构,气密结构包括一密封圈,密封圈固接于限位环一的的合拢配合面或限位环二的合拢配合面,当限位环二和限位环一相互合拢时,密封圈的贴紧于限位环一的的合拢配合面或限位环二的合拢配合面。该结构通过密封圈实现限位环一和限位环二的合拢配合面之间的气密连接,避免管内气压发生意外泄露。

在进一步的技术方案中,锁接结构包括活动设置于锁板一的外端部的锁接摆杆、设置于锁板二的外端部的锁接部以及锁紧件。锁接摆杆的外侧段设置有外螺纹;锁紧件设置有连接孔,连接孔内设置有内螺纹;锁紧件的连接孔螺纹连接于锁接摆杆,并且锁紧件的侧部与锁接部限位配合。该结构通过锁接摆杆、锁紧件以及锁接部之间的连接结构实现锁板一和锁板二的翻合固定,操作简单,稳定可靠。

在进一步的技术方案中,锁板一的外端部沿其径向向外方向凸出设置有台阶一,锁板二的外端部沿其径向向外方向凸出设置有台阶二。锁接摆杆的内端枢接于台阶一。台阶二的外侧凹缺设置有一缺口,锁接摆杆摆动嵌入于缺口内,锁紧件的内侧面抵顶作用于台阶二的台阶面。

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