[实用新型]一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统

权利要求书

1.一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐（1）、与所述原液罐（1）相连通的过滤罐（6）、安装在所述过滤罐（6）内的过滤组件（2）、与所述过滤组件（2）相连通的滤清液罐（ 3）和为过滤提供动力的原料泵（4），其特征在于，所述过滤组件（2）包括用于连通所述滤清液罐（ 3）与所述过滤罐（6）的连接管（21），所述连接管（21）悬伸至所述过滤罐（6）内，所述连接管（21）于所述过滤罐（6）内连接有过滤器（22），所述过滤罐（6）的下方设置有排渣阀（5），所述过滤罐（6）上设置有震动泵（a）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述连接管（21）上连接有加药泵（91），所述加药泵（91）通过一加药管（92）连通至一加药罐（9），加药罐（9）内填充有助溶剂。

3.根据权利要求2所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述过滤罐（6）上设置有辅助排渣管（68），所述辅助排渣管上设置有辅助排渣阀（b）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述辅助排渣管（68）连通至废液处理池（69）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述连接管（21）上连接有水反洗泵（31）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述水反洗泵（31）连通至所述滤清液罐（ 3）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述微孔过滤系统还包括吹气组件（7），所述吹气组件（7）包括压缩空气储气罐（71），所述压缩空气储气罐（71）通过一正吹管（72）连通至所述过滤罐（6）内，所述正吹管（72）正对过滤器（22），所述正吹管（72）上设置有正吹阀（73）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其特征在于：所述压缩空气储气罐（71）通过一反吹管（74）连通至连接管（21），所述反吹管（74）上设置有反吹阀（75）。