[实用新型]一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统

说明书

本实用新型涉及半导体切割研磨水过滤的技术领域，尤其是涉及一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统。一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐、过滤罐、过滤组件、滤清液罐和原料泵，所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管，所述连接管悬伸至所述过滤罐内，所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器，所述过滤罐的下方设置有排渣阀，所述过滤罐上设置有震动泵。原液罐内的原液通过原料泵加入至过滤罐内，并通过过滤组件的过滤进入到滤清液罐内储存，从而完成过滤。启动震动泵，震动泵带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动，从而使泥饼从过滤器上掉落，并从排渣口处将泥渣排出。

技术领域

本实用新型涉及半导体切割研磨水过滤的技术领域，尤其是涉及一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统。

背景技术

随着社会经济的不断发展和科技的进步，电子产品发展速度越来越快，而半导体材料是很多电子产品中不可或缺的原材料。半导体材料在加工成各种零部件的过程中，需要根据产品要求及设定的尺寸大小，进行研磨和切割处理，在研磨和切割过程中需要使用超纯水进行冲洗，因而产生了大量的切割研磨水。

切割研磨水中主要的污染物为悬浮颗粒（硅粉、铜粉等），此类废水的特点是悬浮物浓度高，质量轻，极难沉淀，外观浑浊，在没有外加化学品的情况下，其有机物、氮、磷含量很低，几乎可以忽略不计。在现有的切割研磨水处理系统中，最为广泛采用的是化学混凝沉淀处理方式，工艺设备复杂，占地面积大，投资及运行费用高，操作复杂，对极细小的悬浮物处理效果不佳。

因而，在现有技术中，采用微孔过滤技术对切割研磨水进行过滤，在微孔过滤的过程中，会在滤芯的表面产生泥饼，泥饼会逐渐堵塞滤芯上的微孔，因而导致过滤效率逐渐降低，因而需要在一段时间后，对泥饼进行清理，现有技术中，通常利用大量的水将泥饼从滤芯表面冲洗掉，造成了清水的大量浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，其优势在于，既能够减少清水的浪费，也能够提升清理泥饼的效率。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种半导体切割研磨水高效微孔过滤系统，包括原液罐、与所述原液罐相连通的过滤罐、安装在所述过滤罐内的过滤组件、与所述过滤组件相连通的滤清液罐和为过滤提供动力的原料泵，所述过滤组件包括用于连通所述滤清液罐与所述过滤罐的连接管，所述连接管悬伸至所述过滤罐内，所述连接管于所述过滤罐内连接有过滤器，所述过滤罐的下方设置有排渣阀，所述过滤罐上设置有震动泵。

通过采用上述技术方案，原液罐内的原液通过原料泵加入至过滤罐内，并通过过滤组件的过滤进入到滤清液罐内储存，从而完成过滤。启动震动泵，震动泵带动过滤罐及过滤罐内的过滤器震动，从而使泥饼从过滤器上掉落，并从排渣口处将泥渣排出。

作为优选，所述连接管上连接有加药泵，所述加药泵通过一加药管连通至一加药罐，加药罐内填充有助溶剂。

通过采用上述技术方案，在需要清理过滤器时，通过加药泵将助溶剂加入到过滤器内，助溶剂有助于将覆盖在过滤器表面的泥饼进行反应，使泥渣变成容易溶解于水的小颗粒。同时，对泥饼进行反冲洗，将泥饼冲掉，加快泥饼的清理。

作为优选，所述过滤罐上设置有辅助排渣管，所述辅助排渣管上设置有辅助排渣阀。

通过采用上述技术方案，通过辅助排渣管的设置，在助溶剂加入到过滤器中，并完成反洗之后，由于助溶剂通常是酸性或碱性助剂，因而通过辅助排渣管将含有助溶剂的废液排出，与普通泥渣进行分别处理，防止污染的发生。

作为优选，所述辅助排渣管连通至废液处理池。

通过采用上述技术方案，通过废液处理池的设置，对含有助溶剂的废液进行中和处理，再进行排放，有助于废液的集中处理，降低处理成本，提高处理效率。