[实用新型]一种OLED蒸镀坩埚有效

专利信息
申请号: 202020071532.5 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN211665166U 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 王海燕;孙玉俊 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/04
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 徐剑兵;张忠波
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 oled 坩埚
【权利要求书】:

1.一种OLED蒸镀坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的顶部具有开口,其特征在于,还包括喷嘴,所述喷嘴设置在所述开口上,所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小,所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通,所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道;所述坩埚本体的上方设置有金属掩膜板,所述金属掩膜板具有开口图案,所述金属掩膜板正对所述喷嘴方向,开口图案顶部边缘具有蒸镀角,所述金属掩膜板的开口图案及缺口用于让坩埚本体内的待蒸镀物穿过并在基板上形成图案。

2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角和蒸镀角的大小相同。

3.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,坩埚本体外还包括基板,所述基板设置在所述坩埚本体的上方,所述基板用于沉积经所述喷嘴喷出的坩埚本体内的待蒸镀物,所述基板正对所述喷嘴方向。

4.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述喷嘴为锥台结构,所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角为53度。

5.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述喷嘴为截面是方形的锥台结构。

6.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述喷嘴的内腔壁上设置有石墨烯涂层。

7.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,所述开口为多个,所述喷嘴为多个,多个所述开口上分别设置有多个所述喷嘴。

8.根据权利要求7所述的一种OLED蒸镀坩埚,其特征在于,多个所述开口间距相同且处在一条直线上。

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