[实用新型]一种OLED蒸镀坩埚

说明书

本实用新型公开了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部具有开口，还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述开口上，所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小，所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通，所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道。上述技术方案的喷嘴使坩埚无需使用限制板来调节蒸镀角，从而避免开腔更换并清洗制限板，这样能够使待蒸镀物以较大的程度均匀地镀到基板上。提高了OLED蒸镀坩埚的稼动率，降低OLED蒸镀坩埚的使用成本，提高成膜质量。

技术领域

本实用新型涉及OLED技术领域，尤其涉及一种OLED蒸镀坩埚。

背景技术

有机电致发光显示装置(英文全称Organic Light Emitting Display，简称OLED)是主动发光显示装置，具有高对比度、广视角、低功耗、体积更薄等优点，有望成为下一代主流平板显示技术。请参阅图1和图2，在蒸镀成膜过程中，通过加热蒸镀源中的待蒸镀物(如有机材料等)，使其气化而从顶端喷嘴处喷出并穿过设有开口图案的金属掩膜板，最终在基板上沉积成目标膜层。其中，金属掩膜板的开口图案边缘存在一个缺口，缺口具有蒸镀角，使得蒸镀源内的有机材料蒸镀至基板上存在着53°左右的蒸镀角，为了搭配精细金属掩膜板的蒸镀角，坩埚本体上喷嘴的两侧会设置制限板，以便进一步减小阴影效应，提高成膜质量。

此外，目前坩埚包括坩埚本体和喷嘴，蒸镀源顶部的喷嘴大多为圆孔开口，虽在喷嘴附近设置加热源(Top温度)，以便减小塞孔的风险，但坩埚喷嘴附近的Top温度与坩埚底部的Bottom温度相近时，易出现塞孔现象，影响到正常的蒸镀速率，使得蒸镀的时间变长。

实用新型内容

为此，需要提供一种OLED蒸镀坩埚，解决坩埚需要使用限制板来调节蒸镀角的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部具有开口，还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述开口上，所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小，所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通，所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道。

进一步地，所述坩埚本体的上方设置有金属掩膜板，所述金属掩膜板具有开口图案，所述金属掩膜板正对所述喷嘴方向，开口图案顶部边缘具有蒸镀角，所述金属掩膜板的开口图案及缺口用于让坩埚本体内的待蒸镀物穿过并在基板上形成图案。

进一步地，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角和蒸镀角的大小相同。

进一步地，坩埚本体外还包括基板，所述基板设置在所述坩埚本体的上方，所述基板用于沉积经所述喷嘴喷出的坩埚本体内的待蒸镀物，所述基板正对所述喷嘴方向。

进一步地，所述喷嘴为锥台结构，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角为53度。

进一步地，所述喷嘴为截面是方形的锥台结构。

进一步地，所述喷嘴的内腔壁上设置有石墨烯涂层。

进一步地，所述开口为多个，所述喷嘴为多个，多个所述开口上分别设置有多个所述喷嘴。

进一步地，所述多个开口间距相同且处在一条直线上。

区别于现有技术，上述技术方案的喷嘴使坩埚无需使用限制板来调节蒸镀角，从而避免开腔更换并清洗制限板，这样能够使待蒸镀物以较大的程度均匀地镀到基板上。提高了OLED蒸镀坩埚的稼动率，降低OLED蒸镀坩埚的使用成本，提高成膜质量。

附图说明

图1为背景技术所述OLED蒸镀坩埚的结构示意图；

图2为背景技术所述坩埚本体和限制板的结构示意图；

图3为本实施例所述坩埚本体和喷嘴的结构示意图；