[实用新型]一种智能单多晶硅棒检配粘系统有效
申请号: | 202020084053.7 | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN211595847U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 张顼;朱佰庆;仇健;李璐;邢旭;王鹏;李贤东 | 申请(专利权)人: | 长治高测新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B33/06;G01B11/02;G01N21/95;G01N21/952;B28D5/04;B28D5/00 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 任漱晨 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 智能 多晶 硅棒检配粘 系统 | ||
本实用新型涉及一种智能单多晶硅棒检配粘系统,包括自动粘棒模块、自动配棒截断模块、晶棒自动检验模块以及自动仓储模块;在所述自动粘棒模块、自动配棒截断模块、晶棒自动检验模块和自动仓储模块之间设有辅助输送模块。本实用新型解决晶棒自动检验、配棒自动化、粘棒自动化、上下棒自动化,实现粘棒车间全流程自动化,减少人为因素造成的损耗,降低企业生产成本。
技术领域
本实用新型属于硅棒加工技术领域,具体地说涉及一种智能单多晶硅棒检配粘系统。
背景技术
硅片工厂在晶棒一检、二检、配棒、粘棒都是人工完成的,劳动强度和人工成本高,工作效率低,不便于物料统一管理与信息追踪,这也是目前绝大多数企业面临的现状。
实用新型内容
针对现有技术的种种不足,发明人在长期实践中研究设计出一种智能单多晶硅棒检配粘系统。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种智能单多晶硅棒检配粘系统,包括自动粘棒模块、自动配棒截断模块、晶棒自动检验模块以及自动仓储模块;在所述自动粘棒模块、自动配棒截断模块、晶棒自动检验模块和自动仓储模块之间设有辅助输送模块。
进一步地,所述自动粘棒模块包括粘胶平台单元和六轴机器人单元。
进一步地,所述粘胶平台单元一侧设有板材输送单元和晶棒输送单元;所述粘胶平台单元远离板材输送单元一侧设有晶托输送单元和工装输送单元;所述工装输送单元远离晶托输送单元一侧设有半成品加压固化单元;所述板材输送单元一侧还设有成品工装分离单元和成品加压固化单元。
进一步地,所述自动配棒截断模块包括底座,底座上沿着晶硅的长度方向依次设置有自动定位输送单元、清洁单元和检测扶正单元;所述自动定位输送单元上方设置有分段切割单元。
进一步地,所述自动定位输送单元包括截断模块水平输送组件、至少两组截断模块竖直升降组件、定位组件、至少一组支撑组件和固定箱;所述分段切割单元包括截断组件和升降组件。
进一步地,所述清洁单元包括沿晶硅输送方向上依次设置的清洗组件和干燥组件;所述检测扶正单元包括检测组件、扶正组件和扶正输送组件。
进一步地,所述晶棒自动检验模块包括设置在检验模块底座两端的上料台、下料台、设置在上料台和下料台之间的晶棒外形检测机构、设置在晶棒外形检测机构顶部的检验模块桁架机械手、以及设置在检验模块桁架机械手底部的晶棒硬质点检测机构。
进一步地,所述晶棒硬质点检测机构包括硅棒夹紧组件、硅棒旋转组件和硬质点检测组件。
进一步地,所述晶棒外形检测机构包括底座总成,沿底座总成长度方向的两端均设有侧面视觉组件;所述底座总成长度方向的两侧设有端面移动视觉组件和端面固定视觉组件。
进一步地,所述端面移动视觉组件旁设有端面移动传感器组件,所述端面固定视觉组件和底座总成之间设有端面固定传感器组件。
本实用新型的有益效果是:
1)提升硅片工厂自动化水平,解决晶棒自动检验、配棒自动化、粘棒自动化、上下棒自动化,实现粘棒车间全流程自动化,减少人为因素造成的损耗,降低企业生产成本。
2)由于晶棒自动检验模块工作原理是工业视觉加图像软件处理,提高了检测的一致性、可靠性。
3)配棒自动化,基于大数据分析的智能配棒分析系统,可以高效的完成拼棒工艺,配合自动配棒截断机,实现了高效的配棒自动化。
4)粘棒自动化,自动粘棒模块实现了功能模块设计,多晶、单晶通用;实现了免贴纸胶带、无气泡打胶、成品初次固化无气泡加压以及精确计量的打胶系统。
附图说明
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