[实用新型]一种硅产品加工装置

权利要求书

1.一种硅产品加工装置，包括石英定盘，其特征在于还包括导气管和真空发生装置，所述的石英定盘上开设有排气孔，所述的真空发生装置通过所述的导气管与所述的排气孔的一端连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅产品加工装置，其特征在于所述的真空发生装置包括真空发生器、空气压缩机、进气管、排气管，所述的排气孔通过所述的导气管与所述的真空发生器的抽气口连接，所述的空气压缩机通过所述的进气管与所述的真空发生器的进气口连接，所述的真空发生器的排气口与所述的排气管连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅产品加工装置，其特征在于所述的进气管上设置有减压阀。

4.根据权利要求1所述的一种硅产品加工装置，其特征在于所述的石英定盘的上端面向下凹陷形成环形槽，所述的排气孔的一端与所述的环形槽的槽底连通，所述的排气孔的另一端延伸至所述的石英定盘的外侧壁上并通过所述的导气管与所述的真空发生装置连接。