[实用新型]一种硅产品加工装置

说明书

本实用新型公开了一种硅产品加工装置，包括石英定盘、导气管和真空发生装置，所述的石英定盘上开设有排气孔，所述的真空发生装置通过所述的导气管与所述的排气孔的一端连接；优点是高效、稳定，有利于提高加工精度。

技术领域

本实用新型属于硅产品加工技术领域，尤其是涉及一种硅产品加工装置。

背景技术

硅产品在加工时，需要先将硅产品固定到石英定盘上，现有的固定方式是在石英定盘上涂抹融化的蜡，然后将硅产品放置到石英定盘上，等融化的蜡降温凝固后，蜡才能将硅产品固定到石英定盘上，然后将石英定盘安装到设备上进行加工，加工完成后还需要使用热水进行脱蜡。该加工方法耗费大量的蜡，成本较高，耗时较久，且粘蜡的过程中存在一定的加工误差，硅产品的加工精度难以控制。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高效、稳定的硅产品加工装置，有利于提高加工精度。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种硅产品加工装置，包括石英定盘，还包括导气管和真空发生装置，所述的石英定盘上开设有排气孔，所述的真空发生装置通过所述的导气管与所述的排气孔的一端连接。

所述的真空发生装置包括真空发生器、空气压缩机、进气管、排气管，所述的排气孔通过所述的导气管与所述的真空发生器的抽气口连接，所述的空气压缩机通过所述的进气管与所述的真空发生器的进气口连接，所述的真空发生器的排气口与所述的排气管连接。固定硅产品时，开启空气压缩机，压缩后的空气依次通过进气管、真空发生器、排气管后排出，真空发生器的内部呈负压状态，排气孔内的空气依次通过导气管、真空发生器的抽气口后补充到真空发生器内，排气孔内的空气最终从真空发生器的排气口排出，使排气孔内处于负压状态或真空状态，根据负压吸附原理将硅产品吸附在石英定盘上。该真空发生装置相较于现有的抽气装置，排气孔内的空气不会被直接抽至抽气装置的驱动机构内，避免硅产品上可能携带的蜡、水汽和油污等跟随空气被抽入抽气装置的驱动机构内而影响使用，有利于延长使用寿命。

所述的进气管上设置有减压阀。减压阀用于调节空气压缩机输出的空气的压力，即能够调节真空发生装置的吸力。

所述的石英定盘的上端面向下凹陷形成环形槽，所述的排气孔的一端与所述的环形槽的槽底连通，所述的排气孔的另一端延伸至所述的石英定盘的外侧壁上并通过所述的导气管与所述的真空发生装置连接。固定硅产品时，将硅产品放置在石英定盘上并遮盖环形槽，开启真空发生装置，环形槽内的空气通过排气孔、导气管后排出，使环形槽内处于负压状态或真空状态，根据负压吸附原理将硅产品吸附在石英定盘上，增大了吸附面积，稳定性更好。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于通过在石英定盘上开设排气孔，加工前将硅产品放置到石英定盘上并遮盖排气孔，然后启动真空发生装置抽取排气孔内的空气，排气孔内的气压下降，排气孔内的气压低于石英定盘外的气压，根据负压吸附原理将硅产品吸附在石英定盘上，固定所需的时间远远低于粘蜡脱蜡的方式，稳定可靠、成本较低，同时降低了加工误差。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的局部结构示意图。

图中：1、石英定盘；11、排气孔；12、环形槽；2、导气管；3、真空发生装置；31、真空发生器；32、空气压缩机；33、进气管；34、排气管；35、减压阀；4、硅产品。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

实施例一：如图所示，一种硅产品加工装置，包括石英定盘1、导气管2和真空发生装置3，石英定盘1上开设有排气孔11，真空发生装置3通过导气管2与排气孔11的一端连接。