[实用新型]基板检测装置、检测机构及整板组件

权利要求书

1.一种整板组件，其特征在于，包括：

夹具单元，包括两个相对设置的夹持件，两个相对设置所述夹持件用于沿第一方向夹持基板；及

整板单元，包括两个相对设置的整板件，两个相对设置所述整板件用于沿第二方向抵接于所述基板，所述第二方向与所述第一方向相交。

2.根据权利要求1所述的整板组件，其特征在于，所述夹持件包括第一夹持部、第二夹持部及驱动件，所述驱动件用于驱动所述第一夹持部相对于所述第二夹持部转动。

3.根据权利要求2所述的整板组件，其特征在于，所述驱动件包括驱动源及推动部，所述第一夹持部可转动地设置于所述第二夹持部上，所述驱动源用于推动所述推动部移动，所述推动部能够推动所述第一夹持部转动。

4.根据权利要求3所述的整板组件，其特征在于，所述第一夹持部上开设有条形槽，所述推动部上形成有导柱，所述导柱穿设于所述条形槽内，并能够在所述条形槽内移动。

5.根据权利要求1-4任一项所述的整板组件，其特征在于，所述夹具单元还包括第一同步件，所述第一同步件用于驱动至少一所述夹持件向朝向或远离另一所述夹持件的方向移动。

6.根据权利要求5所述的整板组件，其特征在于，所述整板单元还包括第二同步件，所述第二同步件用于驱动至少一所述整板件向朝向另一所述整板件的方向移动。

7.根据权利要求6所述的整板组件，其特征在于，所述第一同步件包括第一同步源、两个间隔设置的第一同步轮及第一同步带，所述第一同步带绕过两个所述第一同步轮，所述第一同步源用于驱动所述第一同步带移动，其中一所述夹持件设置于位于所述第一同步轮一侧的所述第一同步带上，另一所述夹持件设置于相对的另一侧的所述第一同步带上；和/或

所述第二同步件包括第二同步源、两个间隔设置的第二同步轮及第二同步带，所述第二同步带绕过两个所述第二同步轮，所述第二同步源用于驱动所述第二同步带移动，其中一所述整板件设置于位于所述第二同步轮一侧的所述第二同步带上，另一所述整板件设置于相对的另一侧的所述第二同步带上。

8.一种检测机构，其特征在于，包括：

如权利要求1-7任一项所述的整板组件；及

检测组件，用于检测基板。

9.根据权利要求8所述的检测机构，其特征在于，所述检测组件包括检测件及调节单元，所述调节单元用于微调所述检测件相对于所述基板的位置。

10.根据权利要求9所述的检测机构，其特征在于，所述调节单元包括第一调节件及第二调节件，所述检测件设置于所述第一调节件上，所述第一调节件设置于所述第二调节件上，所述第一调节件用于带动所述检测件沿X轴方向移动，所述第二调节件用于带动所述检测件沿Y轴方向移动。

11.根据权利要求10所述的检测机构，其特征在于，所述第一调节件包括第一安装板及第一传动件，所述检测件设置于所述第一安装板上，所述第一安装板可移动地安装于所述第二调节件上，所述第一传动件用于驱动所述第一安装板在所述第二调节件上沿X轴方向移动；所述第一调节件还包括第一光栅尺及第一读头，所述第一光栅尺与所述第一读头分别设置于所述第一安装板上和所述第二调节件上，所述第一读头能够读取所述第一光栅尺上的尺寸数值；和/或

所述第二调节件包括第二安装板及第二传动件，所述第一调节件设置于所述第二安装板上，所述第二安装板用于安装在机架上，所述第二传动件用于驱动所述第二安装板在所述机架上沿Y轴方向移动；所述第二调节件还包括第二光栅尺及第二读头，所述第二光栅尺与所述第二读头分别设置于所述第二安装板上和所述机架上，所述第二读头能够读取所述第二光栅尺上的尺寸数值。

12.根据权利要求10所述的检测机构，其特征在于，所述调节单元还包括角度调节件，所述角度调节件用于调节所述检测件相对于所述基板转动。