[实用新型]基板检测装置、检测机构及整板组件有效

专利信息
申请号: 202020089799.7 申请日: 2020-01-16
公开(公告)号: CN212008794U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 林咏华;沈炳元 申请(专利权)人: 深圳市凯码时代科技有限公司
主分类号: G01R31/01 分类号: G01R31/01;G01R1/04;G01B11/00;B65G47/90
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 陈秀丽
地址: 518101 广东省深圳市宝安区西*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置 机构 组件
【说明书】:

实用新型涉及一种基板检测装置、检测机构及整板组件,检测机构包括整板组件及检测组件,整板组件包括夹具单元及整板单元。检测机构设置于机架上,待测的基板设置在整板单元上,通过夹具单元的两个相对设置的夹持件,沿第一方向分别夹持在基板的相对的两侧边处,进而能够有效确定基板在第一方向的位置,避免基板沿第一方向错位。通过整板单元的两个相对设置的整板件,分别沿第二方向抵接在基板的另外的相对的两侧边处,有效确定基板在第二方向上的位置。由于第一方向与第二方向相交,进而有效确定基板的位置,提高基板的位置精度。进一步通过检测组件对准基板,进而检测,能够有效提高对基板的检测精度,进而提高检测的准确性。

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域,特别是涉及一种基板检测装置、检测机构及整板组件。

背景技术

基板检查装置一般通过夹具夹住待测的基板,通过检测机构对基板进行检测,进而判断基板的电信号,由此检测基板是否合格。但是传统的夹具对基板的定位不稳定,导致检测机构无法有效对准基板,影响检测的准确性。

实用新型内容

基于此,有必要针对上述问题,提供一种能够提高基板检测的准确性的基板检测装置、检测机构及整板组件。

一种整板组件,包括:

夹具单元,包括两个相对设置的夹持件,两个相对设置所述夹持件用于沿第一方向夹持基板;及

整板单元,包括两个相对设置的整板件,两个相对设置的所述整板件用于沿第二方向抵接所述基板,所述第二方向与所述第一方向相交。

上述整板单元在使用时,将待测的基板设置在整板单元上,通过夹具单元的两个相对设置的夹持件,沿第一方向分别夹持在基板的相对的两侧边处,进而能够有效确定基板在第一方向的位置,避免基板沿第一方向错位。通过整板单元的两个相对设置的整板件,分别沿第二方向抵接在基板的另外的相对的两侧边处,有效确定基板在第二方向上的位置。由于第一方向与第二方向相交,进而有效确定基板的位置,提高基板的位置精度,方便基板的检测,以提高检测精度,进而提高检测的准确性。

下面对技术方案进行进一步说明:

在其中一个实施例中,所述夹持件包括第一夹持部、第二夹持部及驱动件,所述驱动件用于驱动所述第一夹持部相对于所述第二夹持部转动。

在其中一个实施例中,所述驱动件包括驱动源及推动部,所述第一夹持部可转动地设置于所述第二夹持部上,所述驱动源用于推动所述推动部移动,所述推动部能够推动所述第一夹持部转动。

在其中一个实施例中,所述第一夹持部上开设有条形槽,所述推动部上形成有导柱,所述导柱穿设于所述条形槽内,并能够在所述条形槽内移动。

在其中一个实施例中,所述夹具单元还包括第一同步件,所述第一同步件用于驱动至少一所述夹持件向朝向或远离另一所述夹持件的方向移动。

在其中一个实施例中,所述整板单元还包括第二同步件,所述第二同步件用于驱动至少一所述整板件向朝向另一所述整板件的方向移动。

在其中一个实施例中,所述第一同步件包括第一同步源、两个间隔设置的第一同步轮及第一同步带,所述第一同步带绕过两个所述第一同步轮,所述第一同步源用于驱动所述第一同步带移动,其中一所述夹持件设置于位于所述第一同步轮一侧的所述第一同步带上,另一所述夹持件设置于相对的另一侧的所述第一同步带上;和/或

所述第二同步件包括第二同步源、两个间隔设置的第二同步轮及第二同步带,所述第二同步带绕过两个所述第二同步轮,所述第二同步源用于驱动所述第二同步带移动,其中一所述整板件设置于位于所述第二同步轮一侧的所述第二同步带上,另一所述整板件设置于相对的另一侧的所述第二同步带上。

一种检测机构,包括:

如上所述的整板组件;及

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