[实用新型]自动化干湿式铜箔电镀轮研磨机有效
申请号: | 202020097460.1 | 申请日: | 2020-01-16 |
公开(公告)号: | CN211805182U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 陈周杰 | 申请(专利权)人: | 塑华科技有限公司 |
主分类号: | B24B5/36 | 分类号: | B24B5/36;B24B51/00;B24B55/12 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 王志明 |
地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动化 干湿 铜箔 电镀 研磨机 | ||
1.一种自动化干湿式铜箔电镀轮研磨机,其特征在于,包括:
一底座;
一研磨轮,具有一圆筒状研磨本体及贯穿该圆筒状研磨本体的一转轴,该转轴具有一第一轴端及一第二轴端;
一研磨轮转动模组,连接该第一轴端以控制该研磨轮的转动与停止;
一第一进退研磨轮模组,安装于该底座上并可移动地承接该研磨轮转动模组,控制该研磨轮转动模组的线性进退;
一微调进退研磨轮模组,连接该第二轴端;
一第二进退研磨轮模组,安装于该底座上并可移动地承接该微调进退研磨轮模组,控制该微调进退研磨轮模组的线性进退;
一研磨轮震荡模组,架设于该微调进退研磨轮模组上,运作以轴向往返移动该研磨轮;
一护盖组,架设于该底座上以保护该研磨轮;
一供水模组,架设于该护盖组上,喷淋该研磨轮及该研磨轮研磨的一铜箔电镀轮;及
一自动控制模组,与该研磨轮转动模组、该第一进退研磨轮模组、该微调进退研磨轮模组、该第二进退研磨轮模组、该研磨轮震荡模组及该供水模组电连接,以依照一设定模式控制电连接的模组的依时运作。
2.如权利要求1所述的自动化干湿式铜箔电镀轮研磨机,其特征在于,该第一进退研磨轮模组进一步包括:
一第一伺服马达;
一第一减速机,连接该第一伺服马达;
一第一低间隙滚珠螺杆组及两组线性滑轨滑座,与该第一减速机及该研磨轮转动模组连接,受该第一减速机的驱动而调整该研磨轮转动模组的位置;及
两个第一低间隙角固式滑轨,固定于该底座上,每一个第一低间隙角固式滑轨的延伸方向平行于该第一低间隙滚珠螺杆组。
3.如权利要求1所述的自动化干湿式铜箔电镀轮研磨机,其特征在于,该第二进退研磨轮模组进一步包括:
一第二伺服马达;
一第二减速机,连接该第二伺服马达;
一第二低间隙滚珠螺杆组及两组线性滑轨滑座,与该第二减速机及该微调进退研磨轮模组连接,受该第二减速机的驱动而调整该微调进退研磨轮模组的位置;及
两个第二低间隙角固式滑轨,固定于该底座上,每一个第二低间隙角固式滑轨的延伸方向平行于该第二低间隙滚珠螺杆组。
4.如权利要求2所述的自动化干湿式铜箔电镀轮研磨机,其特征在于,该研磨轮转动模组进一步包括:
一第一ㄇ字型高强度底座,可于该两个第一低间隙角固式滑轨上移动;
一第一变频马达;
一第一中空式减速机,连接该第一变频马达,安装于该第一ㄇ字型高强度底座上;
一第一皮带轮,其中央部分连接该第一轴端;
一第二皮带轮,连接该第一中空式减速机的一转动轴;
一第一时规皮带,连接该第一皮带轮与该第二皮带轮;
两个第三低间隙角固式滑轨,安装于该第一ㄇ字型高强度底座上,每一个第三低间隙角固式滑轨的延伸方向实质垂直于该第一低间隙角固式滑轨;及
一第一自动对芯培林座,可移动于该两个第三低间隙角固式滑轨上,其中心部分包夹该转轴并容许该转轴旋转。
5.如权利要求3所述的自动化干湿式铜箔电镀轮研磨机,其特征在于,该微调进退研磨轮模组进一步包括:
一第二ㄇ字型高强度底座,可于该两个第二低间隙角固式滑轨上移动;
两个第四低间隙角固式滑轨,安装于该第二ㄇ字型高强度底座上,每一个第四低间隙角固式滑轨的延伸方向垂直于该第二低间隙角固式滑轨;
一固定板,可移动地设置于该两个第四低间隙角固式滑轨上;
一滑动轨,安装于该固定板上方,该滑动轨的延伸方向平行于该第二低间隙角固式滑轨;
一第三伺服马达;
一第三减速机,连接该第三伺服马达,固定于该第二ㄇ字型高强度底座上;及
一第二自动对芯培林座,可移动地设置于该滑动轨上并连接该第三减速机,受该第三减速机的推拉而微调位置,该第二自动对芯培林座中心部分包夹该转轴并容许该转轴旋转但不能在轴线方向移动。
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