[实用新型]一种便于调节的顶针固定结构有效
申请号: | 202020100336.6 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN211182177U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 侯永刚;张军;胡冬冬;李娜;程实然;朱治友;张瑶瑶;许开东 | 申请(专利权)人: | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 马严龙 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 调节 顶针 固定 结构 | ||
1.一种便于调节的顶针固定结构,包括热台(1)、顶针(2)、顶板(3)、波纹管(4)、连接座(5)、气缸(6)、气缸固定架(7),所述气缸固定架(7)安装于机台腔体底部侧壁,气缸(6)固定在气缸固定架(7)上,波纹管(4)贯穿机台腔体底部通过连接座(5)与气缸(6)动力端连接,顶板(3)位于波纹管(4)上部,顶针(2)固定于顶板(3)上部,用于穿过定位的热台(1),其特征在于:所述气缸(6)的动力端具有与连接座(5)连接的活塞板面(61),活塞板面(61)为矩形板面,四个角均设有螺孔,所述连接座(5)包括固定筒(51)以及与活塞板面(61)相同结构的固定板(53),固定板(53)中心开设有圆孔,固定筒(51)为套筒结构,固定筒(51)贯通固定板(53)的圆孔,所述固定板(53)的四个角设有与活塞板面(61)螺孔一一对应的长圆孔(54),所述固定板(53)靠近四个角的位置分别设有调节孔(55),调节孔(55)为螺纹孔,内置调整波纹管(4)垂直度的顶丝,所述固定筒(51)的外圆一周设有若干紧固孔(52),紧固孔(52)为螺纹孔。
2.根据权利要求1所述的一种便于调节的顶针固定结构,其特征在于:所述气缸固定架(7)包括固定在机台腔体的固定面(71)和固定气缸(6)的连接面(72),连接面(72)一侧边为导向边(73),另一侧边为小压块(75),小压块(75)通过螺栓安装在连接面(72)侧边,导向边(73)和小压块(75)共同夹持气缸(6),所述连接面(72)上设有的四个角位置分别设有气缸调节孔(74),气缸调节孔(74)为螺纹孔,内置调整气缸(6)垂直度的顶丝。
3.根据权利要求1所述的一种便于调节的顶针固定结构,其特征在于:所述波纹管(4)包括下部的固定法兰(41),上部的动法兰(42),安装在动法兰下部的轴体(43)以及设置在固定法兰与动法兰之间包围轴体的压缩管体(44),所述固定法兰(41)安装在机台腔体底部,所述动法兰(42)安装于顶板(3),轴体(43)贯穿固定法兰(41)以及机台腔体底部,轴体(43)位于机台腔体外的端部置于固定筒(51)内,通过在紧固孔(52)内安装螺栓进行固定。
4.根据权利要求3所述的一种便于调节的顶针固定结构,其特征在于:所述调节孔(55)内的顶丝可调节轴体的垂直度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造