[实用新型]一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台

权利要求书

1.一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：包括底座、针座平台、载物台、探针座和显微镜，所述针座平台通过升降机构安装于底座上，所述载物台通过第一XY轴位平移台安装于底座上，并且针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，所述探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置，所述显微镜通过龙门架安装于底座上，并置于针座平台的上方，且显微镜与龙门架之间设置平移机构。

2.根据权利要求1所述一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：所述平移机构包括第二XY轴位平移台、气缸、以及固接在气缸下面的底板和固接于气缸上面的连接板，所述龙门架下端固定安装于底座上，龙门架上端固定安装所述第二XY轴位平移台，所述底板固接在第二XY轴位平移台上，所述显微镜固定安装在连接板上。

3.根据权利要求1所述一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：所述升降机构包括安装于底座和针座平台之间的四个上下移动的交叉导轨和一个升降丝杆。

4.根据权利要求1所述一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：所述升降机构还包括安装于底座下面的调节机构，所述调节机构包括操作杆、横梁和凸轮，横梁通过轴承安装于底座的下面，横梁的一端固定安装所述操作杆，横梁的另一端固定安装所述凸轮，凸轮与升降丝杆的调节螺母相抵。

5.根据权利要求1所述一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：所述第一XY轴位平移台固定安装于XY方向的无牙螺母上，无牙螺母套装于无牙螺杆上，无牙螺母连接气源。

6.根据权利要求1所述一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：所述载物台上设置与负压管相连的吸附孔。

7.根据权利要求1所述一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，其特征在于：所述探针座固定连接探针夹具，所述探针夹具上固定连接探针。