[实用新型]一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台

说明书

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，包括底座、针座平台、载物台、探针座和显微镜，针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置，显微镜通过龙门架安装于底座上，并置于针座平台的上方，载物台和显微镜均安装在XY轴位平移台上，载物台通过XY轴位平移台可以快速调节被测半导体器件的位置，以及更换被测半导体器件；显微镜通过XY轴位平移台可以快速调节显微镜与被测半导体器件之间的距离，找到合适的焦距，以及更换物镜，大大提升半导体器件的检测效率。

技术领域

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台。

背景技术

探针台主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及芯片上的高精密电学测量。随着行业的发展，被测器件的种类越来越多，要求也越来越复杂，探针台的功能必须有相应的提升。

手动探针台主要用于芯片、晶圆等测试提供一个测试平台，对于大尺寸被测器件，需要大范围的移动被测器件，传统的手动调节方式效率太低，不能快速的大范围移动。其中手动探针台上往往会安装显微镜，用以随时观测被测半导体器件的状态。但是探针台的显微镜尤其是金相显微镜，镜头的工作距离有限，在更换物镜的时候为了避免碰到探针需要把显微镜抬起来，现有的更换方法是利用机械结构的配合把整个显微镜的底座做一个倾仰装置，以此来达到更换物镜的目的，但是这种结构使用起来不方便，需要一只手握住倾仰杆，另一只手去更换物镜，这样也容易造成显微镜的损坏。

所以在测试半导体器件时，如果遇到载物台移动的范围较大时，手动调节显微镜将其重新调到合适的位置，就会耗时，降低半导体器件的检测效率。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，通过XY轴位平移台来快速调节显微镜与载物台之间的相对位置，效率更高。

一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，包括底座、针座平台、载物台、探针座和显微镜，所述针座平台通过升降机构安装于底座上，所述载物台通过第一XY轴位平移台安装于底座上，并且针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，所述探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置，所述显微镜通过龙门架安装于底座上，并置于针座平台的上方，且显微镜与龙门架之间设置平移机构。

作为本实用新型一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台的进一步改进，所述平移机构包括第二XY轴位平移台、气缸、以及固接在气缸下面的底板和固接于气缸上面的连接板，所述龙门架下端固定安装于底座上，龙门架上端固定安装所述第二XY轴位平移台，所述底板固接在第二XY轴位平移台上，所述显微镜固定安装在连接板上。

作为本实用新型一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台的进一步改进，所述升降机构包括安装于底座和针座平台之间的四个上下移动的交叉导轨和一个升降丝杆。

作为本实用新型一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台的进一步改进，所述升降机构还包括安装于底座下面的调节机构，所述调节机构包括操作杆、横梁和凸轮，横梁通过轴承安装于底座的下面，横梁的一端固定安装所述操作杆，横梁的另一端固定安装所述凸轮，凸轮与升降丝杆的调节螺母相抵。

作为本实用新型一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台的进一步改进，所述第一XY轴位平移台固定安装于XY方向的无牙螺母上，无牙螺母套装于无牙螺杆上，无牙螺母连接气源。

作为本实用新型一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台的进一步改进，所述载物台上设置与负压管相连的吸附孔。

作为本实用新型一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台的进一步改进，所述探针座固定连接探针夹具，所述探针夹具上固定连接探针。