[实用新型]一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体有效
| 申请号： | 202020111769.1 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211227308U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 杨玉飞 | 申请（专利权）人： | 江阴慕达斯真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/52;F16F15/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均匀 加热 功能 光学 镀膜 | ||
1.一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体(1)，其特征在于：所述设备箱体(1)的上端固定安装有电动机(2)，所述电动机(2)的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架(3)，所述行星双旋转基板保持架(3)的内部固定安装有光学监视器玻璃(4)，所述设备箱体(1)的内壁固定连接有隔板(5)，所述设备箱体(1)的底壁依次从左向右固定安装有离子枪(6)、探测器(7)、电子束蒸镀器(8)和光源灯(9)，所述设备箱体(1)的内壁开设有滑道(10)，所述滑道(10)的内壁滑动连接有基板加热器(11)，所述隔板(5)的上固定安装有石英速率监测仪(12)。
2.根据权利要求1所述的一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，其特征在于：所述设备箱体(1)的下端固定连接有第一支撑杆(13)，所述第一支撑杆(13)的两侧开设有条形槽(14)，所述条形槽(14)的内壁竖向固定连接有固定杆(15)，所述固定杆(15)的外表面套设有第一弹簧(16)，所述第一支撑杆(13)的下端设置有第二支撑杆(17)，所述第二支撑杆(17)的内部开设有安置槽(18)，所述安置槽(18)的内壁固定连接有衔接杆(19)，所述衔接杆(19)的一端固定连接有滑动块(20)，所述第一支撑杆(13)的下端固定连接有第二弹簧(21)。
3.根据权利要求2所述的一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，其特征在于：所述第二支撑杆(17)的下端固定连接有底板(22)，所述设备箱体(1)的一侧通过铰链铰接有开合门(23)，所述开合门(23)的表面开设有观察口(24)。
4.根据权利要求3所述的一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，其特征在于：所述底板(22)的上端固定安装有控制器(25)，所述控制器(25)通过导线分别与电动机(2)、离子枪(6)和石英速率监测仪(12)电性连接。
5.根据权利要求2所述的一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，其特征在于：所述第一弹簧(16)的上端与条形槽(14)的内顶壁固定连接，所述第一弹簧(16)的下端与滑动块(20)的上表面固定连接。
6.根据权利要求2所述的一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，其特征在于：所述滑动块(20)在固定杆(15)的外表面滑动连接，所述第二弹簧(21)的下端与安置槽(18)的内底壁固定连接。
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