[实用新型]一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体

说明书

本实用新型属于光学镀膜设备技术领域，尤其为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体，所述设备箱体的上端固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架，所述行星双旋转基板保持架的内部固定安装有光学监视器玻璃，所述设备箱体的内壁固定连接有隔板，所述设备箱体的底壁依次从左向右固定安装有离子枪、探测器、电子束蒸镀器和光源灯，所述设备箱体的内壁开设有滑道。本实用新型通过设置电动机和行星双旋转基板保持架，使得设备的蒸镀蒸汽在基材上散布更均匀，再通过设置探测器和石英速率监测仪，使得设备可以进行实时监控，避免产生产品的不合格，还有就是实现了设备的全自动化。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜设备技术领域，具体为一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体。

背景技术

OLED，即有机发光二极管，又称为有机电激光显示，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。

但是现有的光学镀膜腔体存在以下问题：

1、现有的光学镀膜腔体，加热源往往为一个点加热或一个区域加热，无法做到蒸镀蒸汽在基材上散布均匀，而且整个设备的自动化程度较低，很难进行实时监控；

2、现有的光学镀膜腔体，设备在运转的过程中，很容易产生大幅度抖动，进而带来噪音污染，使得作业环境变差。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，解决了上述背景技术所提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，包括设备箱体，所述设备箱体的上端固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定连接有行星双旋转基板保持架，所述行星双旋转基板保持架的内部固定安装有光学监视器玻璃，所述设备箱体的内壁固定连接有隔板，所述设备箱体的底壁依次从左向右固定安装有离子枪、探测器、电子束蒸镀器和光源灯，所述设备箱体的内壁开设有滑道，所述滑道的内壁滑动连接有基板加热器，所述隔板的上固定安装有石英速率监测仪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述设备箱体的下端固定连接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的两侧开设有条形槽，所述条形槽的内壁竖向固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面套设有第一弹簧，所述第一支撑杆的下端设置有第二支撑杆，所述第二支撑杆的内部开设有安置槽，所述安置槽的内壁固定连接有衔接杆，所述衔接杆的一端固定连接有滑动块，所述第一支撑杆的下端固定连接有第二弹簧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二支撑杆的下端固定连接有底板，所述设备箱体的一侧通过铰链铰接有开合门，所述开合门的表面开设有观察口。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板的上端固定安装有控制器，所述控制器通过导线分别与电动机、离子枪和石英速率监测仪电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一弹簧的上端与条形槽的内顶壁固定连接，所述第一弹簧的下端与滑动块的上表面固定连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑动块在固定杆的外表面滑动连接，所述第二弹簧的下端与安置槽的内底壁固定连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有均匀加热功能的光学镀膜腔体，具备以下有益效果：