[实用新型]集成部件

说明书

本公开的实施例涉及集成部件。一种半导体材料的第一晶片具有表面。一种半导体材料的第二晶片包括衬底和在该衬底上的结构层。结构层集成了用于监测电磁辐射的检测器设备。第二晶片的结构层被耦合到第一晶片的表面。第二晶片的衬底被成形以形成微镜的定子、转子和移动质量块。定子和转子形成用于电容性地驱动移动质量块的组件。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年1月22日提交的专利号为 102019000000917的意大利专利申请的优先权权益，该申请的全部内容在由法律允许的最大范围内通过引用的方式并入本文。

技术领域

本实用新型涉及集成部件。特别是，本实用新型涉及一种适于被用在对近红外(NIR)辐射所照射的人体进行3D重建的系统中的集成部件。

背景技术

已知类型的医学检查设想生成3D图像，该3D图像是从利用NIR 辐射所照射的人体开始获得的，该3D图像的生成使得能够重建人体自身的热线谱，并且因此使得能够标识潜在的疾病或病症(诸如，类风湿关节炎、雷诺氏综合症、膝盖骨关节炎等)。在本领域中已知各种系统用于执行这种医学检查，该系统需要以下二者：NIR光谱中的光源，用于经由入射辐射来照射检查中的患者的身体的部分；以及检测器，适于测量由被照射的身体的部分产生的辐射。因此，生成了入射辐射的宽且定位不佳的光束，从而减少了由检查中的身体发射并由检测器获取的信号的精确度和准确度。

已知类型的检测器设想使用热MOS(TMOS)晶体管。TMOS晶体管是场效应晶体管器件，其通常在用于确定由检查中的物体或人体发射的辐射量的传感器应用中被使用。由TMOS晶体管接收的所发射的辐射导致在TMOS晶体管的导电沟道处的电荷载流子的生成，并且因此导致输出电流的变化；输出电流可以关于由检查中的物体发射的辐射量来设置。

在本领域中另外已知使用微米尺寸的反射镜(即，微机电系统 (MEMS)类型的微镜)，以便将要撞击在检查中的人体上的辐射偏转并引导朝向该人体的特定区域。通常，微镜通过在裸片的移动质量块上沉积金属(诸如，金或铝)以创建反射表面(例如，从而达到高于98％的反射率)而获得。微镜的移动质量块的致动通常是压电类型、电容类型、或磁性类型。

特别地，经由被供应到微镜的定子和转子的电流使得电容类型的致动成为可能。此类电流跨微镜的移动质量块生成电容差，以便承受扭矩的所述质量块可以被控制。微镜通常在移动质量块的共振频率上被驱动。

已知类型的系统呈现了各种劣势。特别是，已知类型的系统由大量彼此物理分隔的部件构成。这导致了整体系统尺寸的增加和获得所述系统的部件的协同操作的困难(例如，存在将辐射定向到待分析的人体的特定点上并且以较高的精确度检测由人体发射的辐射的有效性困难)。

在本领域中存在提供克服现有技术限制的制造集成部件的方法以及对应的集成部件的需求。

实用新型内容

根据本实用新型，提供了集成部件。

在实施例中，集成部件包括：半导体材料的第一晶片，具有表面；以及半导体材料的第二晶片，包括衬底和在衬底上的结构层，该结构层集成了用于检测电磁辐射的检测器设备，其中第二晶片的结构层被耦合到第一晶片的表面，以及其中微镜的定子、转子和移动质量块被集成在第二晶片的衬底中，所述定子和所述转子形成用于电容性地驱动移动质量块的电容性驱动组件。

在本公开的某些实施例中，集成部件还包括：第一盖，被耦合到在检测器设备处的衬底，以及其中结构层和第一盖分别被耦合到表面和衬底，以便限定容纳检测器设备的第一气密腔室。

在本公开的某些实施例中，集成部件还包括：第二盖，被耦合到在微镜处的衬底，以及其中结构层和第二盖分别被耦合到表面和衬底，以便限定容纳微镜的第二气密腔室。