[实用新型]一种新型真空反应室有效
| 申请号： | 202020139785.1 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN211800678U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;李帅;朱玉盼 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/03 | 分类号： | B01J3/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 反应 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型真空反应室，包括反应室封头、反应室管道、反应室水套法兰、加强套管、加强支撑块、水隔板、进出水嘴、进出水锁紧螺母以及进出水管,其特征在于：所述反应室封头焊接固定在反应室管道顶部，所述反应室管道下端焊接有反应室水套法兰，所述反应室水套法兰内部通循环冷却水，所述反应室水套法兰上焊接有水隔板，所述反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块，八个所述加强支撑块内侧焊接加强套管，所述加强套管内壁包裹着反应室管道，并与反应室管道焊接在一起，所述反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴，所述进出水嘴位于水隔板左右两侧，所述进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起，所述进出水管穿过进出水锁紧螺母连接到进出水嘴。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空反应室，其特征在于：所述反应室管道为圆筒形状，管厚10-30mm，材质为SUS321。
3.根据权利要求1所述的一种新型真空反应室，其特征在于：所述反应室封头为凸型半圆型封头，板材厚度10mm-30mm，材质为SUS321。
4.根据权利要求1所述的一种新型真空反应室，其特征在于：所述进出水嘴与进出水管之间安装有铜垫片，铜垫片起到密封水的作用。
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