[实用新型]一种新型真空反应室有效
申请号: | 202020139785.1 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN211800678U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 刘洋;李帅;朱玉盼 | 申请(专利权)人: | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
主分类号: | B01J3/03 | 分类号: | B01J3/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 反应 | ||
本实用新型提一种新型真空反应室,包括反应室封头以及反应室管道,反应室封头焊接固定在反应室管道顶部,反应室管道下端焊接有反应室水套法兰,反应室水套法兰内部通循环冷却水,反应室水套法兰上焊接有水隔板,反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块,八个加强支撑块内侧焊接加强套管,加强套管内壁包裹着反应室管道,反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴,进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:实现了给真空反应室增加了承受力能力,在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形,大大增加了真空反应室的寿命,节约了成本,提高了生产效率。
技术领域
本实用新型是一种新型真空反应室,属于真空反应室技术领域。
背景技术
现有技术中,真空热处理设备适用于磁性材料、超导材料、合金材料等的真空烧结、退火合金、扩散等工艺。工艺过程是在高温高真空或气氛保护状态下进行的,材料需要装在耐高温的真空反应室内进行高温处理。
目前同类产品中,真空反应室往往在高温高真空状态下由于内外压力不同变形严重,一旦反应室变形就需要更换新的反应室,损耗较大,也给生产带来诸多不便,生产效率不高,又浪费人力财力,因此,需要一种新型真空反应室来解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提一种新型真空反应室,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型实现了给真空反应室增加了承受力能力,在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形,大大增加了真空反应室的寿命,节约了成本,提高了生产效率。
为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种新型真空反应室,包括反应室封头、反应室管道、反应室水套法兰、加强套管、加强支撑块、水隔板、进出水嘴、进出水锁紧螺母以及进出水管,所述反应室封头焊接固定在反应室管道顶部,所述反应室管道下端焊接有反应室水套法兰,所述反应室水套法兰内部通循环冷却水,所述反应室水套法兰上焊接有水隔板,所述反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块,八个所述加强支撑块内侧焊接加强套管,所述加强套管内壁包裹着反应室管道,并与反应室管道焊接在一起,所述反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴,所述进出水嘴位于水隔板左右两侧,所述进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起,所述进出水管穿过进出水锁紧螺母连接到进出水嘴。
进一步地,所述反应室管道为圆筒形状,管厚10-30mm,材质为SUS321。
进一步地,所述反应室封头为凸型半圆型封头,板材厚度10mm-30mm,材质为SUS321。
进一步地,所述进出水嘴与进出水管之间安装有铜垫片,铜垫片起到密封水的作用。
本实用新型的有益效果:本实用新型的一种新型真空反应室,材料在进行高温高真空热处理时,反应室内外压力差很大,真空反应室增加了加强套管和加强支撑块,非常有效的给真空反应室增加了承受力能力,在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形,大大增加了真空反应室的寿命,节约了成本,提高了生产效率。
真空反应室的水套法兰安装了水隔板,使循环冷却水围绕水套法兰一周进行冷却,能够很好的保证水套法兰没有高温,避免了真空室密封圈不会因为高温而产生老化现象。
真空室水套法兰进出水管与进出水嘴之间采用铜垫片来密封水路,不同于以往使用橡胶圈密封方式,更加的可靠,大大提高了设备的可靠性和生产效率。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型一种新型真空反应室的总装设备示意图;
图2为本实用新型一种新型真空反应室的局部剖面示意图;
图3为本实用新型一种新型真空反应室的俯视示意图;
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