[实用新型]一种新型真空反应室有效

专利信息
申请号: 202020139785.1 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN211800678U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 刘洋;李帅;朱玉盼 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: B01J3/03 分类号: B01J3/03
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 新型 真空 反应
【说明书】:

实用新型提一种新型真空反应室,包括反应室封头以及反应室管道,反应室封头焊接固定在反应室管道顶部,反应室管道下端焊接有反应室水套法兰,反应室水套法兰内部通循环冷却水,反应室水套法兰上焊接有水隔板,反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块,八个加强支撑块内侧焊接加强套管,加强套管内壁包裹着反应室管道,反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴,进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:实现了给真空反应室增加了承受力能力,在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形,大大增加了真空反应室的寿命,节约了成本,提高了生产效率。

技术领域

本实用新型是一种新型真空反应室,属于真空反应室技术领域。

背景技术

现有技术中,真空热处理设备适用于磁性材料、超导材料、合金材料等的真空烧结、退火合金、扩散等工艺。工艺过程是在高温高真空或气氛保护状态下进行的,材料需要装在耐高温的真空反应室内进行高温处理。

目前同类产品中,真空反应室往往在高温高真空状态下由于内外压力不同变形严重,一旦反应室变形就需要更换新的反应室,损耗较大,也给生产带来诸多不便,生产效率不高,又浪费人力财力,因此,需要一种新型真空反应室来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提一种新型真空反应室,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型实现了给真空反应室增加了承受力能力,在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形,大大增加了真空反应室的寿命,节约了成本,提高了生产效率。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种新型真空反应室,包括反应室封头、反应室管道、反应室水套法兰、加强套管、加强支撑块、水隔板、进出水嘴、进出水锁紧螺母以及进出水管,所述反应室封头焊接固定在反应室管道顶部,所述反应室管道下端焊接有反应室水套法兰,所述反应室水套法兰内部通循环冷却水,所述反应室水套法兰上焊接有水隔板,所述反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块,八个所述加强支撑块内侧焊接加强套管,所述加强套管内壁包裹着反应室管道,并与反应室管道焊接在一起,所述反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴,所述进出水嘴位于水隔板左右两侧,所述进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起,所述进出水管穿过进出水锁紧螺母连接到进出水嘴。

进一步地,所述反应室管道为圆筒形状,管厚10-30mm,材质为SUS321。

进一步地,所述反应室封头为凸型半圆型封头,板材厚度10mm-30mm,材质为SUS321。

进一步地,所述进出水嘴与进出水管之间安装有铜垫片,铜垫片起到密封水的作用。

本实用新型的有益效果:本实用新型的一种新型真空反应室,材料在进行高温高真空热处理时,反应室内外压力差很大,真空反应室增加了加强套管和加强支撑块,非常有效的给真空反应室增加了承受力能力,在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形,大大增加了真空反应室的寿命,节约了成本,提高了生产效率。

真空反应室的水套法兰安装了水隔板,使循环冷却水围绕水套法兰一周进行冷却,能够很好的保证水套法兰没有高温,避免了真空室密封圈不会因为高温而产生老化现象。

真空室水套法兰进出水管与进出水嘴之间采用铜垫片来密封水路,不同于以往使用橡胶圈密封方式,更加的可靠,大大提高了设备的可靠性和生产效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种新型真空反应室的总装设备示意图;

图2为本实用新型一种新型真空反应室的局部剖面示意图;

图3为本实用新型一种新型真空反应室的俯视示意图;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛精诚华旗微电子设备有限公司,未经青岛精诚华旗微电子设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020139785.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top