[实用新型]预润湿设备及预润湿系统

权利要求书

1.一种预润湿设备，用于晶圆的预润湿，包括第一箱体，所述第一箱体的内部具有容置腔，所述容置腔用于通入预润湿液体，其特征在于，所述预润湿设备还包括夹持部，所述夹持部设置在所述容置腔的内部，所述夹持部用于卡持所述晶圆的外圆面，以使所述晶圆浸没于所述预润湿液体中。

2.如权利要求1所述的预润湿设备，其特征在于，所述夹持部具有卡槽，所述卡槽用于卡持所述晶圆的外圆面。

3.如权利要求2所述的预润湿设备，其特征在于，自所述卡槽的入口至所述卡槽的底部，所述卡槽的开口的宽度减小。

4.如权利要求2所述的预润湿设备，其特征在于，所述卡槽具有相对设置的第一面及第二面，所述第一面及所述第二面中至少一个设有沟槽。

5.如权利要求1中任意一项所述的预润湿设备，其特征在于，所述预润湿设备还包括防溅部，所述防溅部设置在所述容置腔的内部，所述防溅部套设于所述晶圆的外部，以使至少部分所述晶圆的侧面被所述防溅部遮挡。

6.如权利要求5所述的预润湿设备，其特征在于，所述防溅部包括两个相对设置的宽板及两个相对设置的窄板，两个所述窄板设置在两个所述宽板的两端，所述晶圆插设于两个所述宽板之间。

7.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，所述宽板设有缺口，沿晶圆进入所述防溅部的方向，所述缺口的宽度减小。

8.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，远离所述晶圆进入所述防溅部的一端，所述窄板凸出于所述宽板。

9.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，所述润湿设备还包括卡板组件，所述卡板组件固定设置在所述第一箱体的内侧面，所述卡板组件包括两个相对设置的卡板，两个所述宽板卡设于两个所述卡板之间。

10.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，所述宽板设有固定部，所述固定部用于固定所述夹持部。

11.如权利要求10所述的预润湿设备，其特征在于，所述夹持部包括固定柱，所述固定柱的圆周方向设有卡槽，所述固定柱的两端插分别设于所述宽板内。

12.如权利要求11所述的预润湿设备，其特征在于，所述夹持部还包括套管，所述卡槽设置在所述套管上，所述套管套设于所述固定柱的外侧面。

13.如权利要求11所述的预润湿设备，其特征在于，所述固定柱的两端均设有螺纹，所述固定柱的两端分别设有螺母，所述螺母自所述宽板的外侧面沿所述螺纹旋紧。

14.如权利要求11所述的预润湿设备，其特征在于，所述固定部为固定槽，所述固定槽设置在所述宽板上，自远离所述晶圆进入所述防溅部的一端，所述固定槽向所述晶圆进入所述防溅部的一端延伸。

15.如权利要求10所述的预润湿设备，其特征在于，所述固定部的数量为多个，每个所述固定部内均设有夹持部。

16.如权利要求10所述的预润湿设备，其特征在于，所述预润湿设备包括多个所述防溅部，多个所述防溅部并列设置在所述容置腔内。

17.如权利要求5-16中任意一项所述的预润湿设备，其特征在于，所述防溅部设置在所述第一箱体的底部。

18.如权利要求17所述的预润湿设备，其特征在于，所述晶圆的侧面与水平面的夹角的范围为≥0度且≤90度。